研究背景

從古代的烽火臺到如今的光通信領(lǐng)域，光作為一種可以承載信息的載體一直被廣泛應(yīng)用。其中，光電探測器基于光電效應(yīng)的原理，可將光信號轉(zhuǎn)換為電信號（響應(yīng)速度快、高靈敏度等優(yōu)勢），以實現(xiàn)對光強度、波長、頻率等參數(shù)的測量和分析。

光電探測器根據(jù)其工作原理和結(jié)構(gòu)特點可分為光電二極管、PIN型光電二極管等，其中光電二極管是利用半導(dǎo)體PN結(jié)和內(nèi)部反射機制實現(xiàn)對入射光信號的轉(zhuǎn)換，本次將圍繞光電二極管中的PN結(jié)電容進行介紹。

一、測試對象·PN結(jié)電容

PN結(jié)的最大特性是單向?qū)щ娦?/strong>，當(dāng)正向電壓到達(dá)一定值時，PN結(jié)被導(dǎo)通；當(dāng)反向電壓在一定范圍內(nèi)時，PN結(jié)產(chǎn)生微弱的反向飽和電流；當(dāng)反向電壓超過一定值時，PN結(jié)被擊穿。

在PN結(jié)處，會因為外加電壓產(chǎn)生一定電荷積累，這就是結(jié)電容效應(yīng)，PN結(jié)電容=擴散電容+勢壘電容(Cj=Cb+Cd)，電容特性是隔直通交，當(dāng)通過電容的電壓頻率很低時，結(jié)電容可以忽略，PN結(jié)還是單向?qū)ā?/span>

在光電芯片中，工作頻率較高，如果，PN結(jié)的電容較大，就更容易在高頻率下變?yōu)殡p向?qū)ǖ氖顟B(tài)?？梢姡琍N結(jié)電容是越小越好。

二、測試要求

在光電應(yīng)用中，需要測試大量探測器和激光發(fā)射器的PN結(jié)電容，大概在1pF左右。

三、測試過程

一說到測電容，我們都會選擇阻抗分析儀/LCR電橋，但同時也會遇到以下幾個難點：

1，電容值小：對于芯片，1pF左右的電容；對于器件，10pF左右，這個數(shù)值很小，對于分辨率不高的普通LCR，沒有這個測試能力；

2，測試頻率較高：一般1MHz起，2MHz以內(nèi)；

3，需要較大的偏置：10V至30V，甚至還有40V；

4，對于芯片，在測試電容中，pad或者pin如果在一面，可以用兩個探針扎，兩根針的校準(zhǔn)相對簡單；如果處在芯片的不同面，需要用芯片的托盤作為負(fù)極連接（無法扎針），校準(zhǔn)的細(xì)節(jié)就很考究，需要測試者較好的工程調(diào)試經(jīng)驗。

TH2838系列是采用自動平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測試儀器，其0.05%的基本精度、最快達(dá)5.6ms的測試速度、20Hz-2MHz的頻率范圍及高達(dá)1GΩ的阻抗測試范圍可以滿足元件與材料的測量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質(zhì)因數(shù)(Q)電感器的測量。