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微型光譜儀的典型應(yīng)用領(lǐng)域有哪些?
1、透射/反射測(cè)量
透射/反射光譜是材料本身的一項(xiàng)重要光學(xué)特性,在現(xiàn)今工業(yè)蓬勃發(fā)展的背景下,對(duì)材料本身特性的質(zhì)量控制越來(lái)越嚴(yán)格,從而利用光纖光譜儀進(jìn)行快速準(zhǔn)確的透射光譜/反射光譜的測(cè)量技術(shù)也開(kāi)始日漸成熟。對(duì)于不同種類的樣品,為了獲取更好的光譜數(shù)據(jù),透射、反射這兩種基本模式又會(huì)演化為更多的形式。
2、紫外/可見(jiàn)吸收光譜測(cè)量
3、薄膜厚度測(cè)量
光學(xué)的膜厚測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉測(cè)量原理,可以測(cè)量的膜層厚度10nm-50μm,分辨率為1nm。薄膜測(cè)量在半導(dǎo)體晶片生長(zhǎng)過(guò)程中經(jīng)常被用到,因?yàn)榈入x子體刻蝕和淀積過(guò)程需要監(jiān)控;其它應(yīng)用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學(xué)膜層也需要測(cè)量膜層厚度。
4、輻射/發(fā)光
輻射/發(fā)光測(cè)量可以使用不同的實(shí)驗(yàn)裝置和在不同的波長(zhǎng)范圍來(lái)進(jìn)行,如余弦校正器、準(zhǔn)直透鏡或積分球,光譜范圍可以是紫外/可見(jiàn)波段,也可以是可見(jiàn)/近紅外波段。
5、農(nóng)業(yè)與食品
6、顏色測(cè)量
7、熒光
熒光測(cè)量對(duì)許多生物學(xué)(葉綠素和類胡蘿卜素)、生物醫(yī)學(xué)(病變的熒光診斷)和環(huán)境監(jiān)測(cè)是非常有效的測(cè)量手段。熒光測(cè)量通常需要高靈敏度的光譜儀。對(duì)于大多數(shù)熒光應(yīng)用來(lái)說(shuō),產(chǎn)生的熒光能量只相當(dāng)于激發(fā)光能量的3%左右。熒光的光子能量比激發(fā)光的光子能量要小(所以波長(zhǎng)要長(zhǎng)),而且一般都是散射光(在各個(gè)方向上輻射能量)。