產品描述：
SMU 將電壓/電流源和測量功能集成到一個模塊中，可實現(xiàn)精確的直流電流-電壓 (IV) 測量，分辨率低至 fA/μV。如果您需要更多的測量性能，可以通過可選的 ASU（Atto 感應開關單元）將低電流測量性能擴展到 sub-fA 級別。
SMU 還可以執(zhí)行準靜態(tài)電容電壓 (QS-CV) 測量。它是一種獲得低頻CV特性的測量方法，對于表征晶體管柵極的表面狀態(tài)以及高頻CV特性具有重要意義。
產品特點：
4 象限電源和測量能力范圍為 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V，可實現(xiàn)精確的電流-電壓 (IV) 表征
適用于各種測量的點、掃描、脈沖和采樣測量功能
最小采樣測量間隔 100 μs，最小脈沖寬度 500 μs
帶漏電流補償?shù)臏熟o態(tài)電容電壓 (QS-CV) 測量
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