ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質譜法(Inductively coupled plasma-Mass Spectrometry)它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態(tài)分析。

1、ICP-MS基本原理：

樣品進行ICP-MS分析時一般經過以下四步：

（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進入由射頻能量激發(fā)的處于大氣壓下的氬等離子體中心區(qū)；

（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；

（3）部分等離子體經過不同的壓力區(qū)進入真空系統(tǒng)，在真空系統(tǒng)內，正離子被拉出并按其質荷比分離；

（4）檢測器將離子轉化為電子脈沖，然后由積分測量線路計數(shù)；

電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關，通過與已知的標準或參比物質比較，實現(xiàn)未知樣品的痕量元素定量分析。

 

2、ICP-MS基本構造：

一個標準的ICP-MS儀器分為三個基本部分：

（1）ICP（樣品引入系統(tǒng)，離子源）
ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進入中心通道氣流中。ICP-MS 是以電感耦合等離子體作為離子源。

（2）接口（采樣錐，截取錐）
接口是整個ICP-MS系統(tǒng)關鍵的部分。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質譜。

（3）質譜儀（離子聚焦系統(tǒng)，四級桿過濾器，離子檢測器）

ICP-MS的離子聚焦系統(tǒng)與原子發(fā)射或吸收光譜中的光學透鏡一樣起聚焦作用，但聚焦的是離子，而不是光子。四極桿是一個順序質量分析器，必須依次對目標質量進行掃描，并在一個測量周期內采集離子。其掃描速度很快，大約每100毫秒可掃描整個元素覆蓋的質量范圍。四極桿系統(tǒng)將離子按質荷比分離后終引入檢測器。檢測器將離子轉換成電子脈沖，然后由積分線路計數(shù)。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關。通過與己知濃度的標準比較,實現(xiàn)未知樣品的痕量元素的定量分析。