ICP - MS 技術(shù)以其靈敏、快速掃描以及干擾較少的特點迅速發(fā)展成為一種應用廣泛且*的分析技術(shù)。ICP - MS 是以電感耦合等離子體為離子源, 以質(zhì)譜計進行檢測的無機多元素分析技術(shù)。被分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中, 然后進入由射頻能量激發(fā)的處于大氣壓下的氬等離子體中心區(qū), 等離子體的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離。部分等離子體經(jīng)過不同的壓力區(qū)進入真空系統(tǒng), 在真空系統(tǒng)內(nèi), 正離子被拉出并按照其質(zhì)荷比分離。檢測器將離子轉(zhuǎn)換成電子脈沖, 然后由積分測量線路計數(shù)。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關(guān)。通過與已知的標準或參考物質(zhì)比較, 實現(xiàn)未知樣品的痕量元素定量分析。自然界出現(xiàn)的每種元素都有一個簡單的或幾個同位素, 每個特定同位素離子給出的信號與該元素在樣品中的濃度成線性關(guān)系。
ICP-MS具有靈敏度高，多元素定性定量同時分析等優(yōu)點。因而成為廣泛應用的分析儀器：
1、環(huán)境樣品分析。包括自來水、地下水、地表水、海水以及土壤、廢棄物的分析。
1）水環(huán)境分析
水環(huán)境中痕量元素濃度的檢測主要有兩個目的：一是研究元素在自然環(huán)境中的地球化學循環(huán)，二是基于環(huán)境保護與監(jiān)測的要求。環(huán)境分析的主要工作就是痕量分析。ICP-MS具有多元素同時測定的能力及高的檢測靈教度（ICP及火焰原子吸收的檢測靈敏度不能滿足環(huán)保監(jiān)測的要求）。
2）土壤、沉積物的元素測定
研究污染土壤、沉積物中的重金屬元素的再釋放及其影響因素，對預測污染土壤、沉積物中重金屬元素的遷移和歸宿以及提出正確的、費用可行的整治辦法具有重要指導意義。隨著各種新的分析技術(shù)的出現(xiàn)，各種環(huán)境要求的相關(guān)法規(guī)對環(huán)境樣品的檢測下限要求越來越低。對土壤和沉積物中金屬元素的測定也提出了更高的要求。
3）大氣顆粒中元素的分析-----ICP-MS是常用的顆粒中痕量金屬元素和其它無機元素分析手段
2、半導體行業(yè)所用的各種材料，如高純試劑、超純金屬中痕量雜質(zhì)的分析。
如：高純材料分析應用
高純稀土（REE）已被廣泛應用于高新科技的各個生產(chǎn)領(lǐng)域中，例如顯示器、電子元件、光電子器件、超導體、超磁體、陶瓷等。在稀土材料的生產(chǎn)和應用過程中，稀土材料的純度對產(chǎn)品的性能及價格起到?jīng)Q定的作用。傳統(tǒng)的ICP分析、X射線熒光分析均有較大局限性如分析周期長、檢測線差等。ICP-MS由于極地的檢測限，干擾少，多元素同時分析，動態(tài)范圍廣在稀土純度分析中具有魅力的技術(shù)。
3、生化，臨床研究，如頭發(fā)、血液、尿樣、生物組織的分析毒理分析。元素形態(tài)分析以及藥品質(zhì)量分析
如：ICP-MS 在公安法醫(yī)領(lǐng)域的應用
ICP-MS技術(shù)具有同位素比測定功能。特定元素的同位素比樣品的來源地具有相關(guān)性。可用于溯源、判別分析中。該技術(shù)可應用于公安法醫(yī)領(lǐng)域，例如毒品來源及產(chǎn)地判別。
另外，與傳統(tǒng)的多元素分析技術(shù)ICP比較，對一些常見及罕見能引起中毒的元素，如As、Hg、Pb、 Be、Se、Ti等ICP-MS的檢測下限要低10000倍以上，對公安法醫(yī)領(lǐng)域有極為重要的意義，如中毒事件所用無機元素型毒物的快速確認、中毒時間的確認、射擊殘留物特定分析、特性材料的定性分析、來源分析、毒性分析等。
采用ICP-MS與激光燒蝕技術(shù)（LA）聯(lián)用，可做交通事故判斷、筆記舉水鑒定及取證樣品分析等。
4、鋼鐵、合金、玻璃、陶瓷等樣品的分析。
5、地質(zhì)學及同位素比的研究
1）地質(zhì)樣品分析的應用：當前，地學研究和正在開展的多目標地質(zhì)調(diào)查隊分析技術(shù)提出越來越高的要求：要求測定的元素越來越多、要求的檢測限越來越低。ICP-MS在地質(zhì)樣品分析中應用的早也廣泛，并且始終是一個重要領(lǐng)域。
2）同位素比值的應用
ICP-MS可快速分析同位素比值。從而可利用同位素稀釋法準確、快速地測定各種樣品的痕量元素含量和樣品種類及來源判斷。
6、醫(yī)藥、食品工業(yè)
如：中藥和食品微量元素的測定
中藥及食品中一方面需分析無機營養(yǎng)元素（Cu、Ca、Mg、Fe等），另一方面，需分析無機有毒元素（Pb、 As、Hg、Cd），ICP-MS可對質(zhì)量數(shù)3-260aum的元素同時檢測，動態(tài)范圍可達7-8個數(shù)量級，可同時測定含量差別較大的元素，簡便、快捷、靈敏度好及準確度高。
7、石油化工、核工業(yè)等領(lǐng)域的分析
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