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技術文章

如何選用Z合適的晶振片?

點擊次數(shù):5750 發(fā)布時間:2012-3-15

鍍膜科技日新月異,對于鍍膜工程師來說,如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇*的晶振片確實不易。下面建議供大家參考:

1)鍍低應力膜料時,選擇鍍金晶振片

    zui常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu,這些膜層幾乎沒有應力,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,易劃傷,但不會裂開或對基底產生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經(jīng)驗證明,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。

2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜層

    Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產生高應力,膜層容易從晶體基片上剝落或裂開,以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負變動。有時,這些情況可以容忍,但在一些情況下,會對蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。

3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質光學膜

    MgF2SiO2、Al2O3TiO2膜料由于良好的光學透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用于光學鍍膜,但這些膜料也是zui難監(jiān)控的,只有基底溫度大于200度時,這些膜層才會與基底有非常良好的結合力,所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結過程會產生巨大的應力,容易使晶振片在1000埃以內就回失效。

    這時候,選用合金晶振片將是的選擇,將大大減少調頻機會。實驗室顯示,使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂,有效壽命比鍍金的長100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度,晶振片的壽命更可以再延長一倍。

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