大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜,由于電路集成程度的不斷提高,薄膜厚度的任何微小變化,對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。除此之外,薄膜材料的力學(xué)性能,透光性能,磁性能,熱導(dǎo)率,表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的。那么薄膜材料的厚度是用什么儀器測(cè)試?
![三泉中石](https://img68.chem17.com/a1e2ce0b73bba8a15be9a0cbc9a56d4dba92bbc9d0dd1b7e8154fc6651b87c9ca2c880579336aafc.jpg)
當(dāng)今微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類(lèi)生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜,由于電路集成程度的不斷提高,薄膜厚度的任何微小變化,對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。除此之外,薄膜材料的力學(xué)性能,透光性能,磁性能,熱導(dǎo)率,表面結(jié)構(gòu)等都與厚度有著密切的。那么薄膜材料的厚度是用什么儀器測(cè)試?
![薄膜材料的厚度測(cè)試儀 電腦式薄膜測(cè)厚儀CHY-U](https://img61.zyzhan.com/b1f86f69ab052744ec0a374b97ee6e0cf9322e8ef072015970cf149cca1e49cc7faf3381ad428cda.jpg)
薄膜材料的厚度測(cè)試儀 電腦式薄膜測(cè)厚儀CHY-U
薄膜材料的厚度測(cè)試可以用電腦式薄膜測(cè)厚儀CHY-U,該儀器主要用于薄膜、電池隔膜、太陽(yáng)能電池硅片、紙張、膠帶等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度精確測(cè)量。是一款超高測(cè)試誤差的全自動(dòng)測(cè)厚儀,測(cè)厚儀被廣泛應(yīng)用于質(zhì)檢機(jī)構(gòu)、薄膜生產(chǎn)廠家、光伏廠等單位。該儀器采用微電腦控制、大液晶顯示;手動(dòng)、自動(dòng)雙重測(cè)量模式,配備專(zhuān)業(yè)高精度傳感器,測(cè)量頭自動(dòng)升降,避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差,保證了測(cè)試誤差。儀器自動(dòng)保存zui多100組測(cè)試結(jié)果,打印zui大值、zui小值、平均值及每次測(cè)量結(jié)果,方便 用戶分析數(shù)據(jù)。
薄膜材料的厚度測(cè)試用電腦式薄膜測(cè)厚儀CHY-U的技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍 0-2mm (其他量程可定制
分辨率 0.1um
測(cè)量速度 10次/min(可調(diào))
測(cè)量壓力 17.5±1kPa(薄膜);100±1kPa(紙張)
接觸面積 50mm²(薄膜),200mm²(紙張) 注:薄膜、紙張任選一種
進(jìn)樣步矩 0 ~ 1300 mm(可調(diào))
進(jìn)樣速度 0 ~ 120 mm/s(可調(diào))
機(jī)器尺寸 450mm×340mm×390mm (長(zhǎng)寬高)
重 量 23Kg
工作溫度 15℃-50℃
相對(duì)濕度 zui高80%,無(wú)凝露
試驗(yàn)環(huán)境 無(wú)震動(dòng),無(wú)電磁干擾
工作電源 220V 50Hz
濟(jì)南三泉中石實(shí)驗(yàn)儀器有限公司生產(chǎn)的電腦式薄膜測(cè)厚儀CHY-U是專(zhuān)門(mén)用來(lái)檢測(cè)薄膜材料的厚度的儀器,本公司還生產(chǎn)薄膜的拉伸強(qiáng)度、撕裂強(qiáng)度、落鏢沖擊強(qiáng)度、熱合強(qiáng)度等物理性檢測(cè)儀器,如果您對(duì)這些儀器感興趣請(qǐng)致電三泉中石銷(xiāo)售部。
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