INFICON氣體分析儀MPH100F九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)分?jǐn)?shù)

 

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)Transpector MPH兼有具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，

 

在幫助您贏利方面的作用所在城市表面的任何其他殘余氣體分析儀（RGA）。

INFICON利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)制造的RGA所有這些特性都不會(huì)犧牲INFICON Transpector氣體分析儀一貫出色的可靠性。

 

• 大模擬掃描和預(yù)期的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn)1.8 ms
• TCP / IP以太網(wǎng)連接
• 雙絲極
• 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
• 組合陽(yáng)極，鹵素和反射極絲極套件
• *傳感器可降低安裝體積
• 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)分?jǐn)?shù)
• <2E-15 Torr的MDPP（100 amu）
• 信噪比更高
• 可調(diào)換傳感器和電子元件
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配，測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝