SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對應(yīng)300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

???◇ 長壽命：300萬次（常溫時）

???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

 

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

▼半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。

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