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光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料??捎糜谏罟杩涛g,適合于深寬比工藝,透明度,垂直度好。
中文名稱:2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯
英文名稱:2-Methyl-2-adamantyl acrylate
別稱:丙烯酸2-甲基金剛烷-2-基酯
CAS號:249562-06-9
分子量:220.307
密度:1.1±0.1 g/cm3
沸點:284.4±9.0 °C at 760 mmHg
分子式:C14H20O2
熔點:N/A
MSDS:N/A
閃點:114.6±16.1 °C
紫外負(fù)性光刻膠
紫外正性光刻膠
聚酰亞胺光刻膠
共價鍵合單分子樹脂光刻膠
單分子分子玻璃光刻膠
微米尺度光刻膠
锍鎓鹽鍵合的分子玻璃單分子光刻膠
電子束光刻膠
共價鍵合單分子HPS-MSF樹脂光刻膠
輻射線光刻膠
瑞禧生物WFF.2022.5
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