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光刻膠按其形成的圖像分類有正性、負(fù)性兩大類。在光刻膠工藝過程中,涂層曝光、顯影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下來,該涂層材料為正性光刻膠。如果曝光部分被保留下來,而未曝光被溶解,該涂層材料為負(fù)性光刻膠。按曝光光源和輻射源的不同,又分為紫外光刻膠(包括紫外正、負(fù)性光刻膠)、深紫外光刻膠、X-射線膠、電子束膠、離子束膠等。
中文名稱:2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯
英文名稱:2-Isopropyl-2-adamantyl acrylate
CAS號(hào):251564-67-7
分子量:248.36100
密度:1.0±0.1 g/cm3
沸點(diǎn):313.2±11.0 °C at 760 mmHg
分子式:C16H24O2
熔點(diǎn):N/A
MSDS:N/A
閃點(diǎn):128.5±16.7 °C
正膠S1800光刻膠
負(fù)膠NR光刻膠
紫外光刻膠薄膠 S1805G/S1818/S1813 半導(dǎo)體材料
光刻膠 SPR 955
聚酰亞胺光刻膠
AZ52ME反轉(zhuǎn)光刻膠
BP-212正性光刻膠
PAG改性SU8光刻膠
以上來自瑞禧生物WFF.2022.6
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