光刻膠是一種有機化合物，受特定波長光線曝光作用后其化學(xué)結(jié)構(gòu)改變，在顯影液中的溶解度會發(fā)生變化，因此又稱光致抗蝕劑。正膠在曝光后發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，可以被顯影液溶解，留下的薄膜圖形與掩膜版相同；而負膠經(jīng)過曝光后變成不可溶物質(zhì)，非曝光部分被溶解，獲得的圖形與掩膜版相反。

中文名稱：甲基丙烯酸-9-蒽甲酯

英文名稱：9-anthracenylmethyl methacrylate

CAS號：31645-35-9

分子量：276.32900

密度：1.159 g/cm3

沸點：443oC at 760 mmHg

分子式：C19H16O2

熔點：80-85 °C(lit.)

MSDS：N/A

閃點：N/A

電子束光刻膠HSQ電子束 負性

電子束光刻膠XR-1541-002/004/006電子束 負性

電子束光刻膠PMMA電子束 正性

光刻膠S18xx系列 正性

光刻膠SPR955系列 正性

光刻膠BCI-3511 正性

光刻膠NRD6015負性

XR-1541電子束光刻膠  負性光刻膠

AZ4620光刻膠

KMPR 1000系列  負性光刻膠

PermiNex 1000系列  負性光刻膠

AR-P 6200正電子束光刻膠 

Nanoscribe IP系列光刻膠

瑞禧WFF.2022.6