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光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對(duì)光的混合液體。在光刻工藝過(guò)程中,用作抗腐蝕涂層材料。
中文名稱:雙[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]碘鎓與三氟甲磺酸鹽
英文名 Bis(4-tert-butylphenyl)iodoniumtrifluoromethanesulfonate
別稱:雙(4-叔丁苯基)碘鎓三氟甲磺酸鹽
CAS號(hào):84563-54-2
分子量:542.394
密度:N/A
沸點(diǎn):N/A
分子式:C21H26F3IO3S
熔點(diǎn):237ºC(lit.)
MSDS:N/A
閃點(diǎn):N/A
AZ4620光刻膠
AZ5214光刻膠
KMPR 1000系列 負(fù)性光刻膠
PermiNex 1000系列 負(fù)性光刻膠
SU-8 3050 負(fù)性光刻膠
SU-8 2002 2015 2050光刻膠
SU-8 3010 負(fù)性光刻膠
SU-8 3035 3025光刻膠
SU-8 3050 3035 3010負(fù)性光刻膠
AR-P617 電子束光刻膠
電子束及深紫外光刻膠ma-N 2400系列
電子束光刻膠 CABL-9000C
光刻膠SPR955系列 正性
電子束光刻膠 ma-N 2400 MR-EBL 6000系列
光刻膠 SPR 955
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