潔凈室檢測(cè)常用的儀器儀表

一般計(jì)量?jī)x表的精確度是分級(jí)的，對(duì)于1級(jí)儀表，其誤差限是大量程的1%。例如：對(duì)于大量程為100℃的溫度計(jì)，其誤差為±1℃；對(duì)于大量程為30℃的溫度計(jì)，其誤差為±0.3℃。如果被測(cè)量的溫度是20℃，使用大量程為100℃的1級(jí)溫度計(jì)，測(cè)得值的相對(duì)誤差為±5%；使用大量程為30℃的1級(jí)溫度計(jì)，測(cè)得值的相對(duì)誤差為±1.5%。由此可見，使用精確度等級(jí)相同的儀表，由于大量程不同，其測(cè)得值的相對(duì)誤差的差別很大。因?yàn)橥染_度下大量程越大誤差越大，所以在可能的條件下應(yīng)盡量選用量程較小的儀表。
1、溫度計(jì)
溫度計(jì)有多種，其中玻璃溫度計(jì)的可靠性較好。如果潔凈室內(nèi)使用其他類型的溫度計(jì)，應(yīng)該另外準(zhǔn)備一個(gè)精確度較高的玻璃溫度計(jì)，作為校準(zhǔn)其他溫度計(jì)的比對(duì)性標(biāo)準(zhǔn)器。
（1）玻璃溫度計(jì)。玻璃溫度計(jì)是根據(jù)液體熱脹冷縮原理制造的。常用的液體是酒精或水印。這種溫度計(jì)雖然準(zhǔn)確可靠，但反應(yīng)較慢，讀數(shù)不直觀，不適合用于自動(dòng)控制。玻璃溫度計(jì)讀數(shù)時(shí)應(yīng)注意不能用手直接接觸液體球的外壁，讀數(shù)時(shí)眼睛應(yīng)該平視。
（2）數(shù)字溫度計(jì)。數(shù)字溫度計(jì)的原理有多種，優(yōu)點(diǎn)是讀數(shù)直觀，適合于自動(dòng)控制，但有時(shí)可靠性較差。
2、濕度計(jì)
（1）干濕球濕度計(jì)。液體揮發(fā)會(huì)吸收熱量，致使溫度下降；濕度越低，液體揮發(fā)得越快，溫度下降得越多。根據(jù)這個(gè)原理制造出干濕球濕度計(jì)。干濕球濕度計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉的優(yōu)點(diǎn)，但讀數(shù)比較麻煩，不適合用于自動(dòng)控制。
（2）毛發(fā)濕度計(jì)。毛發(fā)濕度計(jì)是根據(jù)脫脂毛發(fā)隨濕度變化而變化的原理制造出來的。指針式的毛發(fā)濕度計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉，但不適合用于自動(dòng)控制。
（3）露點(diǎn)濕度計(jì)。露點(diǎn)濕度計(jì)的原理是首先測(cè)定露點(diǎn)溫度，根據(jù)露點(diǎn)溫度對(duì)應(yīng)的飽和水蒸氣分壓力與干球溫度對(duì)應(yīng)的飽和水蒸氣分壓力計(jì)算相對(duì)濕度。通過直接觀察確定是否結(jié)露的準(zhǔn)確度較差，根據(jù)鏡面反射光的強(qiáng)度確定是否結(jié)露的準(zhǔn)確度較高。所以有直觀的露點(diǎn)濕度計(jì)，還有光電式露點(diǎn)濕度計(jì)。使用溫度傳感器測(cè)定露點(diǎn)溫度的光電式露點(diǎn)濕度計(jì)不僅精確度高，而且可以實(shí)現(xiàn)數(shù)字顯示。
（4）電容濕度計(jì)。電容濕度計(jì)的原理是：高分子薄膜吸收或釋放水分子的時(shí)候電容值發(fā)生變化，測(cè)定高分子薄膜的電容值可以確定空氣的濕度。常用的高分子材料是丁酸纖維素。電容濕度計(jì)可以用數(shù)字顯示濕度，便于監(jiān)測(cè)和控制。
（5）電阻濕度計(jì)。電阻濕度計(jì)的原理是：金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體或高分子材料吸收或釋放水分子的時(shí)候電阻值發(fā)生變化，測(cè)定該多孔狀陶瓷體或高分子材料的電阻值就可以確定空氣的濕度。用氧化鎳陶瓷制造的濕度傳感器壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好，應(yīng)用較廣泛。電阻濕度計(jì)也可以用數(shù)字顯示濕度，便于監(jiān)測(cè)和控制。
3、氣壓計(jì)
（1）U形氣壓計(jì)。加入液體后，一頭與大氣連通，另一頭與被測(cè)的氣體連通，利用兩個(gè)玻璃管中的液面差測(cè)量氣壓差。結(jié)合已知的大氣壓數(shù)值，可得到被測(cè)的氣壓值。U形氣壓計(jì)中常用的液體是純水、水銀、乙醇等。同樣長(zhǎng)度的U形氣壓計(jì)，液體的密度越大，量程越大，精確度越低；液體的密度越小，量程越小，精確度越高。所以，應(yīng)該根據(jù)量程和精確度選用適當(dāng)?shù)囊后w。
（2）斜管微壓計(jì)。可以理解為U形氣壓計(jì)的變形。一般情況下，U形氣壓計(jì)的玻璃管垂直讀數(shù)，斜管微壓計(jì)的玻璃管傾斜讀數(shù)。玻璃管傾斜后，同樣的壓差在玻璃管中顯示的距離較大，讀數(shù)的精確度較高。所以與U形氣壓計(jì)比較，斜管微壓計(jì)的讀數(shù)精確度要高一些。
（3）精密微壓計(jì)。此儀器結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，雖然也是用純水顯示壓力，然而采用放大鏡瞄準(zhǔn)、螺紋微調(diào)、游標(biāo)讀數(shù)，可以達(dá)到更高的精確度。
（4）彈性氣壓計(jì)。此儀器是利用物體彈性制造的氣壓計(jì)。彈性氣壓計(jì)種類繁多，應(yīng)用范圍廣泛。
（5）壓差計(jì)。壓差計(jì)與壓力計(jì)經(jīng)常是可以通用的。有時(shí)可以測(cè)出壓力計(jì)算出壓差，有時(shí)又可以測(cè)出壓差計(jì)計(jì)算出壓力。U形氣壓計(jì)就是一種典型的通過測(cè)壓差計(jì)算壓力的儀器。
（6）電子壓力計(jì)。此儀表一器般是通過壓力傳感器、電子線路和顯示器直接用數(shù)字顯示壓力的數(shù)值。
4、風(fēng)速計(jì)
（1）熱效應(yīng)風(fēng)速計(jì)。熱效應(yīng)風(fēng)速計(jì)分熱線風(fēng)速計(jì)和熱球風(fēng)速計(jì)兩種。這兩種風(fēng)速計(jì)的原理和和結(jié)構(gòu)相似，其特點(diǎn)是靈敏度較高、穩(wěn)定性較差。
（2）旋翼式風(fēng)速計(jì)。旋翼式風(fēng)速計(jì)有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力較大、靈敏度較低，隨著技術(shù)的進(jìn)步，阻力減小，靈敏度提高，應(yīng)用范圍越來越大。
（3）氣壓風(fēng)速計(jì)。氣壓風(fēng)速計(jì)的原理是根據(jù)氣體的動(dòng)壓確定風(fēng)速。一般使用皮托管和微壓計(jì)測(cè)定氣流的靜壓和全壓，用全壓減去靜壓得到動(dòng)壓。這種測(cè)定方法的可靠性較高，但是比較麻煩，而且要求壓力計(jì)的靈敏度較高。
5、風(fēng)量計(jì)
（1）罩式風(fēng)量計(jì)。可以使用風(fēng)速計(jì)測(cè)量風(fēng)向垂直截面上各點(diǎn)的風(fēng)速，取平均值乘以截面積得到風(fēng)量。根據(jù)這個(gè)原理，將多個(gè)風(fēng)速計(jì)組合在一起制造出罩式風(fēng)量計(jì)，可以直接測(cè)定風(fēng)量。
（2）浮子流量計(jì)。浮子流量計(jì)也稱為轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是一種常用的氣體流量計(jì)。一般情況下，浮子流量計(jì)用于測(cè)量中等流量的氣流，如10～500L/min。
（3）皂膜流量計(jì)。皂膜流量計(jì)也是一種常用的流量計(jì)。一般多用于測(cè)量小流量的氣流。
6、聲級(jí)計(jì)
聲級(jí)計(jì)是根據(jù)聲音振動(dòng)的能量確定噪聲的聲級(jí)，其顯示方式有指針式和數(shù)字式兩種，新制造的多是數(shù)字式。
7、照度計(jì)
照度計(jì)根據(jù)照射到的光的能量確定照射光的強(qiáng)度，一般用數(shù)字顯示照度值。