當(dāng)前位置:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司>>技術(shù)文章>>掃描電鏡在多層陶瓷電容(MLCC)中的應(yīng)用
掃描電鏡在多層陶瓷電容(MLCC)中的應(yīng)用
MLCC 外部或內(nèi)部如果存在開裂、孔洞、分層等微觀缺陷,會(huì)直接影響到 MLCC 產(chǎn)品的電性能、可靠性,給產(chǎn)品質(zhì)量帶來嚴(yán)重的隱患。在失效分析的過程中,需要進(jìn)行微觀層面的分析。值得一提的是,飛納電鏡優(yōu)異的低真空技術(shù)非常適合陶瓷材料,可以實(shí)現(xiàn)不噴金直接觀察。與此同時(shí),我們的 Technoorg Linda 離子研磨儀可以進(jìn)行不同角度的剖面切削以及表面的拋光和清潔處理,能夠得到真實(shí)的樣品形貌,是 MLCC 失效分析的有力設(shè)備。
MLCC 失效分析 —— 介質(zhì)層孔洞
陶瓷介質(zhì)內(nèi)的孔洞是因?yàn)榻橘|(zhì)層內(nèi)部含有水汽或其它雜質(zhì)離子,在電路中正常施加工作電壓時(shí),因?yàn)殡s質(zhì)和水汽的存在,降低了此位置的電壓耐受程度,所以施加正常電壓時(shí),此位置就可能會(huì)發(fā)生過電擊穿的現(xiàn)象。
離子研磨拋光前無法確定 MLCC 燒結(jié)實(shí)際狀況(孔隙,空洞,氧化物位置等)
離子研磨拋光后,使用飛納電鏡觀察,可以確定孔隙,空洞
離子研磨拋光處理后
結(jié)合飛納電鏡能譜結(jié)果發(fā)現(xiàn) MLCC 內(nèi)電極存在被氧化現(xiàn)象