飛納臺(tái)式掃描電子顯微鏡

——Phenom 版專(zhuān)業(yè)版

Phenom-World 公司于2014 年9 月在Prague 電鏡年會(huì)上發(fā)布了飛納電鏡版Phenom XL， 該設(shè)備在繼承飛納電鏡系列超高分辨、快速成像、簡(jiǎn)易操作、直接觀測(cè)絕緣體、高度自動(dòng)化、環(huán)境要求低、防震設(shè)計(jì)等優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上，做出了如下改進(jìn)，使其在擁有臺(tái)式電鏡操作簡(jiǎn)單等特點(diǎn)的下，同時(shí)具備大型落地式電鏡的高分辨率、多功能和拓展性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)：

Phenom XL 電鏡腔室由原來(lái)的32 mm 擴(kuò)容為100 mm x 100 mm，一次可容納至少36 個(gè)樣品

自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)的移動(dòng)范圍為X = 50 mm，Y = 50 mm（可選配X=100 mm,Y=100 mm）

Phenom XL 提供高、中、低三級(jí)真空，可以選配二次電子探測(cè)器；

可拓展拉伸臺(tái)，壓力臺(tái)，大角度傾斜臺(tái)、高低溫樣品臺(tái)等功能性選件；

飛納臺(tái)式掃描電鏡—— 智能、高效、多功能

放大倍數(shù)：20×-100,000×

分辨率：優(yōu)于17nm

電子槍?zhuān)?500小時(shí)CeB6燈絲

抽真空時(shí)間：15秒

樣品移動(dòng)方式：自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)

樣品定位方式：光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航

樣品導(dǎo)電性要求：無(wú)需噴金，直接觀測(cè)絕緣體

拓展功能：3D粗糙度重建、纖維統(tǒng)計(jì)測(cè)量，高倍拼圖等

溫控樣品臺(tái)，可直接觀測(cè)液體

表面細(xì)節(jié)豐富的高分辨率照片

Phenom(飛納)Pro 為您提供高信噪比、表面細(xì)節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì)圖像；

2，20×-100,000×連續(xù)放大，分辨率優(yōu)于17nm，大景深；

3，傳統(tǒng)電鏡往往通過(guò)提高加速電壓來(lái)產(chǎn)生更高的信號(hào)，同時(shí)由于穿透深度較深，導(dǎo)致表面細(xì)節(jié)缺失。低加速電壓電子穿透深度淺，避免樣品被破壞，展現(xiàn)更多表面細(xì)節(jié)；

4，探測(cè)背散射電子，展現(xiàn)清晰形貌結(jié)構(gòu)的同時(shí)，提供豐富的成份信息；

左圖：5kV低加速電壓下，電子反應(yīng)區(qū)位于樣品表面，配合高亮度CeB6燈絲，既保證了分辨率，又得到樣品表面的信息；

右圖：15kV高加速電壓下，電子穿透深度較深，表面細(xì)節(jié)不明顯

 CeB₆燈絲在樣品表面單位面積內(nèi)激發(fā)的信號(hào)約是鎢燈絲的10倍，適合于低加速電壓觀測(cè)

表面形貌和成分信息同時(shí)展現(xiàn)成份模式：同時(shí)給出樣品表面形貌與成份信息，不同元素可由其灰度對(duì)比度的不同加以分辨

成份模型	四分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加。

形貌模式四分割背散射電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相抵消

樣品杯，30秒快速成像

Phenom（飛納）樣品杯、低真空設(shè)計(jì)、的真空封鎖技術(shù)，裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像，僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右

直接觀看絕緣體，無(wú)需噴金

Phenom（飛納）采用低真空技術(shù)，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的電子中和，有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生，直接觀測(cè)各種不導(dǎo)電樣品（如下圖所示）。

利用降低荷電效應(yīng)樣品杯，更可將開(kāi)始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右，而且不會(huì)影響燈絲壽命，下圖頭發(fā)示例：

操作簡(jiǎn)便，全程導(dǎo)航

自動(dòng)/手動(dòng)聚焦

自動(dòng)/手動(dòng)亮度            

自動(dòng)/手動(dòng)對(duì)比度

自動(dòng)燈絲居中調(diào)節(jié)

自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)

光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航

Phenom（飛納）操作界面。通過(guò)點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放、聚焦亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口，方便用戶(hù)在不同樣品、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。

光學(xué)導(dǎo)航，所有帶觀測(cè)樣品盡在視野之中，高倍下準(zhǔn)確切換樣品，只需點(diǎn)擊感興趣樣品，即可自動(dòng)移動(dòng)到屏幕*

環(huán)境適應(yīng)性高，*防震

Phenom（飛納）可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無(wú)需超凈間。采用燈絲、探測(cè)器、樣品臺(tái)相對(duì)一體化的設(shè)計(jì)，震動(dòng)不會(huì)引起三者間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使Phenom成像不受震動(dòng)影響，可放置在較高樓層。

互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程檢測(cè)

Phenom（飛納）擁有遠(yuǎn)程檢測(cè)功能，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)，專(zhuān)業(yè)工程師可隨時(shí)為您遠(yuǎn)程檢測(cè)系統(tǒng)、答疑解難，為您提供*的保護(hù)，讓您的Phenom隨時(shí)處于*工作狀態(tài)。

豐富的拓展功能選件

適用于不同領(lǐng)域的樣品杯選件

Metallurgical mount charge reduction sample holder，

降低荷電效應(yīng)金相樣品杯

降低荷電效應(yīng)金相樣品杯，在顯微圖像觀測(cè)中，獲得表面平滑樣品的常規(guī)辦法是鑲嵌和拋光等技術(shù)。金相樣品杯可用于觀測(cè)鑲嵌在樹(shù)脂等材料中的樣品。

Pin stub charge reduction sample holder

降低荷電效應(yīng)樣品杯

降低荷電效應(yīng)樣品杯，無(wú)需噴金，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品，從而獲得樣品的原始形貌和成份信息。

1000x	2500x	4000x

Standard sample holder

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯測(cè)試結(jié)果

1000x	2500x	7500x

Charge reduction sample holder

降低荷電效應(yīng)樣品杯測(cè)試結(jié)果

Standard sample holder

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯

標(biāo)準(zhǔn)樣品杯，適用于高分辨率成像，可用于觀測(cè)粉末，薄膜，及各種不規(guī)則形狀的三維樣品。

Motorized Tilt and Rotation Sample Holder

自動(dòng)傾斜/旋轉(zhuǎn)樣品杯

內(nèi)置微型馬達(dá)，計(jì)算機(jī)控制傾斜、旋轉(zhuǎn)角度，為您呈現(xiàn)樣品的隱藏特征，展現(xiàn)3D圖像效果。

Temperature Controlled Sample Holder

溫控樣品杯

溫控樣品杯，自動(dòng)控溫，適用于生物、有機(jī)等樣品，使樣品減少水分的蒸發(fā)，得以保持原貌，并且減少電子束對(duì)樣品的損傷，延長(zhǎng)觀看時(shí)間。

Micro Tool & Tilt-Rotation Sample Holder

微型工具樣品杯

        制樣過(guò)程

微型工具樣品杯適用于鉆頭、鑼刀、等長(zhǎng)度較長(zhǎng)，且有角度要求的樣品成像。樣品直接裝進(jìn)樣品杯即可，無(wú)需其他輔助工具

Insert X-view

X-斷面觀測(cè)插件             

X-斷面觀測(cè)插件適合于涂層以及多層半導(dǎo)體器件等斷口、斷面的觀測(cè)，且不需要螺絲等其它工具來(lái)固定樣品

Insert Micro-electronics 

微型電子器件插件

微型電子器件插件采用特制夾具將微型電子器件無(wú)損的固定在樣品杯中。測(cè)試后，樣品可以重新回到制備環(huán)節(jié)中去，或者參與其他損耗檢測(cè)。

簡(jiǎn)單制樣程序