傾斜旋轉樣品杯

針對放樣或制樣時，小特征點無法被看到的問題。

傾斜的優(yōu)勢

三維測量

3D結構成圖

孔

多層結構

邊緣

旋轉的優(yōu)勢

沿X或Y軸排列特征點信息

可以對樣品的每一個面進行成像

規(guī)格

• 傾斜范圍: -10° ~ + 45° (步長0.2°) 

• 旋轉角: 360°連續(xù)旋轉 (步長0.2°) 

• zui大試樣直徑: 12 mm

• zui大試樣高度: 5 mm

• zui大重量: 60 g 

• 真空度: 高真空 

通過 Pro Suite 應用來專門控制

• Compucentric 旋轉

• Pseudo-eucentric 傾斜

• 傾斜自動對焦

• 用坐標和圖像來保存當前樣品臺位置

• X 和 Y 軸排列

Compucentric 旋轉

旋轉一個不在中心位置的特征點時需要三軸聯(lián)動。有了軟件上的這個功能以后，旋轉時會自動運動。

Pseudo-eucentric傾斜

傾斜特征點會引起工作距離和Y軸位置的變化。本功能自動矯正Y軸位置。

跟蹤對焦

傾斜特征點時會引起工作距離的變化和物理上的Y軸方向的位置。跟蹤對焦功能自動矯正Z軸方向的焦距。

X和Y軸對齊

僅兩點點擊即可幫助實現(xiàn)對齊X和Y方向的特征。

樣品臺和坐標

設置樣品坐標。

由于具備自動樣品操作能力，可以直觀方便地對于任何樣品的任何特征成像。