借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng)，飛納臺式掃描電鏡（SEM）可以生成樣品的三維圖像，并進(jìn)行亞微米量級的粗糙度測量?；凇瓣幱帮@形"技術(shù)，3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

3D 圖像可以幫助用戶更好地理解樣品特點，使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測量對于生產(chǎn)工藝的控制和改進(jìn)具有重要意義。使用 SEM 圖像作為信息收集手段，可以獲得比傳統(tǒng)（非直接）手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模塊是飛納臺式掃描電鏡的理想擴展，特別適用于下列領(lǐng)域：

• 機械加工的質(zhì)量控制

• 紋理分析

• 證物鑒定

• 缺陷 & 失效分析

• 摩擦學(xué)-磨損分析

3D 粗糙度重建系統(tǒng)可在包含多個飛納臺式掃描電鏡（SEM）特定應(yīng)用程序的 Phenom ProSuite 中獲得。

3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點：

• 遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機械測量手段

- 高分辨率

- 可測量反光樣品

- 直接測量

- 非破壞性

• 創(chuàng)新性全自動用戶界面

• 基于“陰影顯形"，無需傾斜樣品

• 完整解決方案

• 快速重建

• 直觀的用戶界面