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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
雙獨立溫區(qū)滑軌爐CVD設備(可于生長硫化鉬)主要特點
1.此款設備提供兩個獨立滑動的溫場，兩溫場獨立控制，每個溫場的加熱區(qū)的長度為230mm，可在實驗過程中推進或推離樣品，提供兩個位置的快升降溫。
2.縱向多接口真空法蘭設計，各種附加接口具有高度可擴展性。航空鋁合金法蘭支架外形美觀，輕便堅固耐腐蝕，安裝調(diào)節(jié)簡便易學。避免傳統(tǒng)鈑金法蘭支架的安裝調(diào)節(jié)不便，在安裝多種附件時容易導致法蘭偏斜漏氣甚至石英管意外破碎的情況。
3.同時法蘭端采用卡箍密封，這樣就使進料出料更加的方便。
4.采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。
5.進氣系統(tǒng)可以按照客戶的實驗需求配置幾路質(zhì)量流量計，流量計的量程也可以選擇不同的配置，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。
雙獨立溫區(qū)滑軌爐CVD設備(可于生長硫化鉬)技術參數(shù)
雙獨立溫場滑軌爐BTF-1200C-II-SSL
| 爐管尺寸：外徑（50mm,60mm,80mm,100mm)可選 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長度：230mm+230mm 恒溫區(qū)長度：80mm+80mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ 最高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速度：20度/分鐘 爐門結構：開啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：4KW |
供氣系統(tǒng)
| 標準量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm； 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭Φ6 |
低真空系統(tǒng)
| 空氣相對濕度≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L/s 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa |
