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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
雙爐膛滑動(dòng)CVD控制系統(tǒng)主要特點(diǎn)：
1、 滑軌式快速升溫爐是專為生長(zhǎng)石墨烯研制的石墨烯生長(zhǎng)專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。
2、 這款設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。
3、 此款設(shè)備提供兩個(gè)獨(dú)立滑動(dòng)的溫場(chǎng)，兩溫場(chǎng)獨(dú)立控制，可在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個(gè)位置的快升降溫。
4、 真空和設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)保養(yǎng)。
5、 采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
Technical Parameters
雙爐膛滑動(dòng)CVD控制系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
Power 輸入電源 | · Power rated: 16KW · 額定功率：16KW |
Voltage 電壓 | · Voltage rated: AC220-380V 50/60HZ · 額定電壓： AC220-380V 50/60HZ |
Working Temperature 工作溫度 | · Max. Temperature: 1200 °C ( 1 hr) 最高溫度：1200℃ (1小時(shí)) · Continuous working temperature: ≤1100℃ 持續(xù)工作溫度：≤1100℃ · Max. Heating/colling Rate: ≤20°C /S 最大升/降溫速率：≤20℃/秒 |
控溫方式 | · PID automatic control and auto-tune function. 觸摸屏控制加PLC控制和和模糊 PID自整定調(diào)節(jié) · 30 programmable segments for precise thermal processing. 智能化30段可編程控制 · Built-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 超溫和斷偶報(bào)警功能 |
Length of heating zone 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | · 500+500mm |
Length of constant zone 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | · 200+200mm |
Heating Elements 加熱元件 | · Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo · 電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
Temperature Accuracy 控溫精度 | +/- 1 °C |
Processing tube 爐管 | · Φ210*2000mm(optional) · Two tube blocks are included for blocking heat radiation generated from tube center， must be fully inserted into the furnace chamber before heating in the correct position(quartz or ceramic optional). 兩個(gè)管堵阻擋管中心產(chǎn)生的熱輻射，必須在加熱前塞進(jìn)爐膛的正確位置（石英貨氧化鋁管堵可選） |
Dimensions 尺寸 | · Furnace size : 2700*1500*1650mm(L*W*H without tube & flange) · 爐子尺寸：2700*1500*1650mm(長(zhǎng)*寬*高 不含爐管和法蘭)
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Net Weight 凈重 | 580kg |
真空法蘭 | · KF25 /16 quick clamp flange 兩端為KF25/16快速卡箍法蘭
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Vacuum Pressure 真空壓力 | · 133torr can be achieved by mechanical pump 機(jī)械泵可達(dá)133torr（1pa） · 10^-6 torr can be reached by molecular pump 分子泵可達(dá)10^-6torr（10^-3pa） |
