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[供應]PlasCalc-海洋光學PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀,海洋光學
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  • PlasCalc-海洋光學PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀,海洋光學
貨物所在地：
四川成都市
產地：
美國
更新時間：
2021-04-19 21:00:13
有效期：
2021年4月19日 -- 2021年10月19日
已獲點擊：
314
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產品簡介

光學分辨率1.0nm（FWHM） 光譜范圍 200-1100nm 快速的建模及存儲實驗方法

詳細介紹

 

海洋光學PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀

PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀，實現(xiàn)200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3m就可以獲得測量結果。

海洋光學特點

  • 海洋光學分辨率1.0nm（FWHM）

  • 光譜范圍 200-1100nm

  • 快速的建模及存儲實驗方法

海洋光學Recipe編輯器

Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。

多種工具用于等離子體診斷

隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現(xiàn)多種數(shù)學算法功能。可選的波長發(fā)生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。

PlasCalc 配置說明

光譜范圍:

200-1100 nm

光學分辨率:

1.0 nm （FWHM）

D/A 轉換:

14 bit

數(shù)字I/O:

8 x TTL

模擬輸出:

4 x [0-10V]

接口:

USB 1.1

功耗:

12 VDC @ 1.25 A

電源:

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸:

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量:

5 kg

 

PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀優(yōu)點是軟件分析功能強大,光譜范圍寬,缺點是分辨率低.


 

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