產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

橢偏儀測膜厚的優(yōu)點?1.測量對象廣泛：可測透明膜，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快。（7-13s檢測時間）?4.光學(xué)測量方法對樣品表面損傷Z小。?5.測量精度高，海洋光學(xué)橢偏儀可以達(dá)到0.1nm的精度，而國內(nèi)同類型產(chǎn)品只能達(dá)到1nm精度.?6.非苛刻性測量，樣品可是塊狀固體或薄膜

詳細(xì)介紹

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀的基本原理：測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質(zhì)的改變。而偏振性質(zhì)的改變主要是由樣品的性質(zhì)，如厚度d、折射率n或消光系數(shù)k決定。

•偏振態(tài)的改變主要表現(xiàn)為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化，而相位的變化會導(dǎo)致干涉條紋的產(chǎn)生，橢偏儀就是根據(jù)干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優(yōu)勢：非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達(dá)0.005%。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設(shè)計方法實現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。

配置說明

波長范圍:	380-780 nm （標(biāo)準(zhǔn)）或450-900 nm （可選）
光學(xué)分辨率:	4.0 nm FWHM
測量精度:	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:	70°
膜厚:	單透明膜1-5000 nm
光點尺寸:	2 mm x 4 mm （標(biāo)準(zhǔn)）或 200 µm x 400 µm （可選）
采樣時間:	3-15s （zui?。?/span>
動態(tài)記錄:	3 seconds
機械公差（height）:	/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜層數(shù):	至多32層
參考:	不用

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