行程:12 - 51毫米
Z大速度:2毫米/秒
分辨率,典型:2納米
重復(fù)性,雙向:±20納米
重復(fù)性,單向:20納米
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
PPS-20是一個(gè)高精度,長(zhǎng)行程線性壓電階段。
微型交叉滾子軸承保證高剛度和導(dǎo)向精度高達(dá)20 N(水平方向)的負(fù)載。
它采用正在申請(qǐng)的多相壓電馬達(dá)在高速(> 2毫米/秒)和阻滯力高(> 2 N)。
PPS-20可在開(kāi)環(huán)或具有一個(gè)外部編碼器。
.閉環(huán)分辨率為2 nm是可以實(shí)現(xiàn)的。