表面輪廓測量儀

主要技術(shù)指標(biāo)：

1、測量原理：垂直方向：觸針法，電感傳感器；
　　　　　 　水平方向：光柵傳感器；
2、測量范圍：垂直20mm，水平100mm；
3、測量精度：垂直0.2%，水平0.004%；
4、垂直分辨力：0.06μm/4mm，0.3μm/20mm；
5、水平分辨力：1μm ；
6、測量參數(shù)：垂直距離、水平距離、兩直線夾角、圓弧半徑、
圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓度等形位公差參數(shù)；
7、圖形放大倍率：zui大10000倍無級連續(xù)放大；
8、驅(qū)動速度：0.1，0.2，0.3，0.4，0.5，0.8，1.0mm/s；
9、返回速度：1.5mm/s；
10、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性：1μm；
11、立柱結(jié)構(gòu)：快慢速機(jī)動升降系統(tǒng)，自動對準(zhǔn)零位；
12、立柱垂直測量高度：260mm；
13、工作底臺：460mm×620mm大理石平臺；
14、傳感器測桿長：230mm；
15、測針長度：22mm；
16、針尖角度：11°；
17、針尖半徑：25μm；
18、測力：0.02-0.06N；
19、傳感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。
 

儀器的組成：

1、基本配置：
●立柱
●驅(qū)動箱
●傳感器
●電箱
●微機(jī)、打印機(jī)
●調(diào)斜工作臺

2、可選附件（價格另議）
●萬向工作臺
●小平口鉗
●微調(diào)工作臺
●可根據(jù)用戶要求設(shè)計測針
●輪廓儀底臺