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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
? 高精度工作臺
? - 花崗巖底座
? - 光柵尺分辨率：0.05um
? - 高分辨率CCD 相機
? - 固定倍率（0.5X、1X、2X、4X）或手動變焦鏡頭（0.7-4.5X 分五個固定倍率）
? - 透射光（綠色）和表面環(huán)形光均為LED 光源
? - 測量范圍X/Y/Z：200x100x150mm
? - 精度XY（E2）=3.0um+L/60（L為mm）
? - 精度Z（E1）=5.9um+L/60（L 為mm）
? - 工作臺承重：10Kg
? - TESA Vista 或Pcdmis 軟件