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產(chǎn)品簡介
全新US無限遠光學(xué)系統(tǒng)，明場/暗場/偏光觀察方式。 長工作距離平場物鏡，分辨率高，方便工件快速移動。 大型載物臺可同時檢查多個試樣或6寸晶圓。 適用于電子/半導(dǎo)體/鋼鐵/金屬等行業(yè)科研，質(zhì)檢。
詳細介紹
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