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超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業(yè)需求。
1、具備A(點掃描)、B(縱向掃描)、C(橫向掃描)、透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項)、多層掃描、Tray-托盤掃描,厚度測量等系列掃描模式。
2、具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;具備缺陷尺寸標識;厚度與測距等功能。
3、具備圖像著色功能,可根據(jù)相位翻轉自動著色;可根據(jù)灰度等級手動著色;可根據(jù)厚度變化,自動著色;
4、適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。
5、可兼容1~110MHz的超聲探頭。
6、檢測軟件自主研發(fā),中英文界面,可根據(jù)客戶需求對功能進行持續(xù)升級。

和伍水浸超聲掃描顯微鏡
產(chǎn)品參數(shù):
|   序號  | 機電特性 | 規(guī)格型號 | 
| 1 | 整機尺寸 |   1000mm×900mm×1400mm  | 
| 2 | 水槽尺寸 | 620mm×650mm×150mm | 
| 3 |   有效掃描范圍  | 350mm×300mm×100mm | 
| 4 |   最大掃描速度  | 600mm/s | 
| 5 | 超聲探頭 |   可兼容1~110MHz的超聲探頭。  | 
| 6 | 定位精度 | X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm | 
| 7 |   重復定位精度  | X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm | 
產(chǎn)品主要配置表:
|   序號  | 名稱 | 規(guī)格 | 
| 1 | 掃描系統(tǒng) |   X軸:直線電機驅動;Y軸:伺服電機驅動;Z軸:步進電機驅動  | 
| 2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm | 
| 3 |   超聲發(fā)射、接收器  | 帶寬1-65MHz | 
| 4 |   高速數(shù)據(jù)采集卡  | 采樣頻率 500MHz | 
| 5 | 工控機 | i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。 | 
| 6 | 顯示器 | 兩個27"液晶顯示器 | 
| 7 | 檢測軟件 | 和伍超聲無損檢測軟件 | 
行業(yè)應用:
鋰電池、塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊、金剛石復合片、電器焊接件、陶瓷材料等。


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