三為科學光刻膠高壓計量泵是采用凸輪傳動的高壓柱塞泵，輸液液體粘度可以達到1000厘泊（cP），高精度無脈沖連續(xù)供膠，可以用于涂膠顯影機中輸送光刻膠，sanotac光刻膠高壓計量泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，Modbus協(xié)議，232/485，PLC模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA；流量精度高、壓力脈沖低，重復性好，質(zhì)量優(yōu)異。

技術特點：

1，  壓力保護設定：可設置壓力上限和壓力下限；

2，  壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補償和流量脈沖電子抑制技術；

3，  流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質(zhì)量輸送g/min；

4，  流量校準：提供用戶參數(shù)區(qū)用于校準泵的流速，滿足不同系統(tǒng)工況需求；

5，  流量控制程序： 提供兩種運行程序，恒流運行和梯度運行；

6，  壓力曲線顯示：各設備分別顯示當前壓力曲線，直觀判斷設備運行狀況；

7，  流量曲線顯示：各設備分別顯示當前運行的流量曲線；

8，  支持RS-232，RS-485，RS-422；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議；

9， 一對多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴展1對32操作；

10， 運行數(shù)據(jù)保存：開啟或停止數(shù)據(jù)記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。

11， 設置方法保存：保存運行參數(shù)設置，如串口端口參數(shù)，壓力保護值，流量控制程序等。

12， 可以實現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶天平規(guī)格定制）。

高粘度高壓柱塞泵產(chǎn)品參數(shù)：