電子化學(xué)品,半導(dǎo)體化學(xué)材料,高壓計(jì)量泵,風(fēng)囊泵,芯片用電子化學(xué)品,半導(dǎo)體化學(xué)品,高壓輸液泵,ic化學(xué)品,氟材料高壓計(jì)量泵,光刻化學(xué)品 蝕刻化學(xué)品 氫氟酸、鹽酸 光阻膠 光刻膠輸送 濕化學(xué)品輸送 半導(dǎo)體專用泵

SF1005D氟材料高壓計(jì)量泵流路做了無金屬優(yōu)化，接觸液體的材料為FFKM、PTFE和特種陶瓷，流量范圍0.01—100.00ml/min，耐壓達(dá)到5Mp，揚(yáng)程高傳輸距離長，是三為科學(xué)針對(duì)電子化學(xué)品領(lǐng)域開發(fā)的一款耐腐蝕有高壓輸送需求的四氟泵。SF1005D高壓氟泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，通訊方面有：Modbus 、Profibus和Profinet協(xié)議，PLC，模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA，485/232/usb/網(wǎng)口等選擇；流量精度高、壓力脈沖低，重復(fù)性好，質(zhì)量優(yōu)異，廣泛應(yīng)用于電子化學(xué)品輸送領(lǐng)域和化工反應(yīng)器配套領(lǐng)域。

技術(shù)特點(diǎn)：

1，  壓力保護(hù)設(shè)定：可設(shè)置最壓力上限和下限；

2，  壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補(bǔ)償和流量脈沖電子抑制技術(shù)；

3，  流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質(zhì)量輸送g/min；

4，  流量校準(zhǔn)：提供用戶參數(shù)區(qū)用于校準(zhǔn)泵的流速，滿足不同系統(tǒng)工況需求；

5，  流量控制程序： 提供兩種運(yùn)行程序，恒流運(yùn)行和梯度運(yùn)行；

6，  壓力曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前壓力曲線，直觀判斷設(shè)備運(yùn)行狀況；

7，  流量曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前運(yùn)行的流量曲線；

8，  柱塞桿清洗系統(tǒng)，延長泵的使用壽命;

9，  支持RS-232，RS-485，RS-422，USB通訊；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議；

10， 一對(duì)多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴(kuò)展1對(duì)32操作；

11， 運(yùn)行數(shù)據(jù)保存：開啟或停止數(shù)據(jù)記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。

12， 設(shè)置方法保存：保存運(yùn)行參數(shù)設(shè)置，如串口端口參數(shù)，壓力保護(hù)值，流量控制程序等。

13， 可以實(shí)現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶天平規(guī)格定制）。

SF1005D高壓氟泵參數(shù)：

序號(hào)	產(chǎn)品型號(hào)	SF1005D
1	泵頭材質(zhì)	不銹鋼內(nèi)嵌PCTFE泵頭，螺紋加工在不銹鋼上
2	輸液方式	雙柱塞并聯(lián)模式，浮動(dòng)柱塞設(shè)計(jì)
3	流量范圍	0.01-100.00/min
4	增量	0.01ml/min
5	流量準(zhǔn)確度	± 0.5%
6	流量重復(fù)性	≤ 0.1%
7	壓力范圍	≤ 5Mpa
8	壓力脈動(dòng)	≤ 0.05Mpa
9	流路材料	FFKM、PTFE、特種陶瓷
10	出口管路	φ3mm、φ3.175、φ4mm
11	流量校正點(diǎn)	0.01、0.1、1、10、20、40、60、80、100ml/min
12	流量校正功能	用戶端 0.01--100.00ml范圍內(nèi)多參數(shù)流量校正功能
13	通信功能	RS232，USB(標(biāo)配）；RS485/422(選配)； Modbus 協(xié)議
14	上位機(jī)軟件	SanoFlu流體控制管理系統(tǒng)
15	電源	85 ～ 264VAC,50Hz
16	尺寸	370×240×152 mm3