氦氣純化器

Valco氣體純化器的純化基質(zhì)是一種無揮發(fā)性、有加熱活化的吸附性合金，此穩(wěn)定的合金包含在焊接組件中，所以可以安全簡單地使用。吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散，防止氧氣鈍化層的形成。氦氣和氮?dú)饧兓饔幸蛔詣诱{(diào)控的特征設(shè)計，它保持吸附劑材料于zui適溫度，消除了熱量流失的可能性。

氦氣純化器

*   可純化氣體：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

*   zui高操作壓強(qiáng)：1000 psig

*   可去除雜質(zhì)：出口雜質(zhì)低于10ppb H₂O、H₂、O₂、N₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口雜質(zhì)總量，其它去除雜質(zhì)包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和輕質(zhì)烴。

*   未被去除雜質(zhì)：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

氮?dú)饧兓?/p>

*   可純化氣體：只有N₂

*   zui高操作壓強(qiáng)：1000 psig

*   可去除雜質(zhì)：出口雜質(zhì)低于10ppb H₂O、H₂、O₂、NO、NH₃、CO、CO₂和CH₄，此基于10ppm入口雜質(zhì)總量，其它去除雜質(zhì)包括CF₄、CCl₄、SiH₄ 和輕質(zhì)烴。

*   未被去除雜質(zhì)：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N₂