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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例
主要用于儲罐頂部氮氣壓力恒定控制,以保護(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲罐安全。氮封閥由ZZDQ快速泄放閥及ZZV自力式微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成??焖傩狗砰y由壓力控制器及ZMQ-16K型單座切斷閥組成。儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲罐內(nèi)壓力降低時,開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場壓力較高,必須安裝ZZYP型壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。
現(xiàn)已 用于連續(xù)送氣的天然氣采輸,城市煤氣以及冶金、石油、化工等工業(yè)生產(chǎn)部門。氮氣在常況下是一種無色無味的氣體,占空氣體積分?jǐn)?shù)約78%(氧氣約21%)。熔點是63K,沸點是77K,臨界溫度是126K,難于液化。溶解度很小,常壓下在283K時一體積水可溶解0.02體積的氮氣。
玻璃鋼氮封水箱主要用于儲罐頂部氮氣壓力恒定控制,以保護(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲罐安全。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成??焖傩狗砰y由壓力控制器及單座切斷閥組成。
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例
儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲罐內(nèi)壓力降低時,開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。
超純水氮封水箱是一種用于存儲高純度化學(xué)試劑、電子元器件以及其他敏感物質(zhì)的設(shè)備。它采用特殊的密封技術(shù)和高效的過濾系統(tǒng),可以將內(nèi)部空氣和水分子凈化佳的純度,并在箱體內(nèi)注入氮氣,形成穩(wěn)定的惰性氣氛,從而有效地防止物質(zhì)受到空氣、水分或其他不純雜質(zhì)的污染和氧化。超純水氮封水箱在科研實驗、制藥生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。
指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(這里簡稱供氮閥)和自力式微壓調(diào)節(jié)閥(簡稱泄氮閥)兩大部份組成。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高超過設(shè)定值時,供氮閥關(guān)閉,泄氮閥打開(罐頂未設(shè)呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內(nèi)多余壓力泄放。在儲罐內(nèi)壓力降低時,泄氮閥處于關(guān)閉狀態(tài),供氮閥打開,向罐內(nèi)注氮氣。供氮閥閥前壓力最好在1.0Mpa以下,現(xiàn)場壓力較高時,可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調(diào)節(jié)閥將壓力減至。1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
原水箱→原水泵→機(jī)械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→一級 RO 水箱→二級高壓泵混→二級反滲透裝置→二級 RO 水箱→EDI 增壓泵→紫外線殺菌器→EDI 前置過濾器→EDI 裝置→氮封水箱→TOC 殺菌器→拋光混床→微孔過濾→用水點
在水箱上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?,氮氣是惰性氣體能防上CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。超純水在空氣中如果被二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)污染,其作為純度的溶劑對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)。故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降。
超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi),水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降??諝庵泻卸趸肌⒓?xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ·m,3分鐘以后就會下降到2MΩ·m左右,因此超純水的儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例的工作原理:
超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi),水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當(dāng)儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時,開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如:3Kpa。
泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:8Kpa。
具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。
氮氣 (N2)的純度為99.999%以上。
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例處理超純水與空氣接觸的方法:
充氮法:即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?,阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。
浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會。
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例 產(chǎn)品特點
(1)無需外加能源,能在無電、無氣的場合工作,既方便又節(jié)約能源,降低成本。
(2)氮封裝置供氮,泄氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)經(jīng)營的條件下進(jìn)行。
(3)壓力檢測膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小、動作靈敏、裝置工作平衡。
(4)采用無填料設(shè)計,閥桿所受磨擦力小、反應(yīng)迅速、控制精度高。
(5)供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達(dá)100:1,減壓效果好、控制精度高。
(6)為確保儲罐的安全,需在罐頂設(shè)置呼吸閥。
(7)呼吸閥公起安全作用,避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例
序號 | 品 名 | 型 號 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP DN32 PN16 介質(zhì):氮氣 進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力0.8KPA 法蘭類型HGT 20592 PN16 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM | 臺 | 1 |
2 | 泄氮閥 | 泄氮閥ZXD-16 DN32 PN16 起跳壓力1.5 KPA 法蘭連接 法蘭類型HGT 20592 PN16 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM | 臺 | 1 |
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥 CFQ DN32 PN16 介質(zhì):氮氣 法蘭類型HGT 20592 PN16 DN32 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM 呼氣壓力:2Kpa, 吸氣壓力:-298 pa, | 臺 | 1 |
三、超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例 主要技術(shù)參數(shù)
公稱通徑(mm) | 20 | 25 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
閥座直徑(mm) | 6 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 |
額定流量系數(shù)Kv | 3.2 | 5 | 8 | 10 | 20 | 32 | 50 | 80 | 100 | 160 | 250 | 400 |
壓力調(diào)節(jié)范圍 | 0.5~70 20~120 60~400 300~700 500~1000 KPa | |||||||||||
公稱壓力PN | 1.0、1.6 MPa | |||||||||||
被調(diào)介質(zhì)溫度 | 80、200 ℃ | |||||||||||
流量特性 | 快開型 | |||||||||||
調(diào)節(jié)精度 | ≤5% | |||||||||||
允許壓降(MPa) | 1.6 | 1.6 | 1.1 | 0.6 | 0.4 | |||||||
薄膜有效面積(C㎡) | 200 | 280 | 400 | |||||||||
允許泄漏量 | 符合ANSIB16.104—1976 IV級 | |||||||||||
閥蓋形式 | 標(biāo)準(zhǔn)型 (整體式) | |||||||||||
壓蓋型式 | 螺栓壓緊式 | |||||||||||
密封填料 | V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料 | |||||||||||
閥芯形式 | 單座型閥芯 | |||||||||||
流量特性 | 直線性 |
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù)
公稱通徑DN(mm) | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | |
額定流量 系數(shù)Kv | ZZCP/ZZVP | 8 | 11 | 20 | 32 | 50 | 80 | 100 | 160 |
ZZCN | 53 | 83 | |||||||
額定行程(mm) | 6 | 8 | 10 | 15 | 20 | ||||
公稱壓力PN(MPa) | 0.10 1.0 | ||||||||
差壓調(diào)節(jié)范圍(kPa) | 0.5~5.5 5~10 9~14 13~19 18~24 22~28 26~33 31~38 36~44 42~51 49~58 56~66 64~78 76~90 8~100 | ||||||||
介質(zhì)溫度(℃) | ≤ 80 | ||||||||
調(diào)節(jié)精度(%) | ≤ 10 | ||||||||
允許泄漏 量(l/h) | ZZCP/ZZVP | 10 -4 X閥額定容量(Ⅳ級) | |||||||
ZZCN | 5X10 -3 X閥額定容量( II級) |
規(guī)格重量
DN | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | |
A | 308 | 394 | 308 | 394 | 308 | 394 | 394 | 394 | |
H | ZZCP/ZZVP | 376 | 465 | 365 | 445 | 445 | 490 | 490 | 510 |
ZZCN | 536 | 536 | |||||||
L | ZZCP/ZZVP | 150 | 160 | 180 | 200 | 230 | 290 | 310 | 350 |
ZZCN | 222 | 222 | |||||||
重量 G(Kg) | 12 | 13 | 15 | 17 | 20 | 28 | 38 | 43 | |
導(dǎo)壓管螺紋接頭 | M16X1.5 |
超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例終端過濾工藝
傳統(tǒng)的超純水系統(tǒng)常采用微米級精濾器,一般選用0.1μm/0.22μm微孔折疊膜濾芯過濾,以去除超純水中存在的細(xì)小微粒和細(xì)菌,攔截可能脫落的混床樹脂,保證產(chǎn)水水質(zhì)的穩(wěn)定。而在半導(dǎo)體行業(yè)中多采用超濾作為終端過濾器,其作用跟上述微濾相同,只是相關(guān)指標(biāo)要求更加嚴(yán)苛。一般要求能夠截留相當(dāng)于分子量6000Da的微小顆粒,有效去除絕大部分微污染物。
五、超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例安裝注意事項
(1)安裝前,檢查整機(jī)零件是否缺損與松動,對管道應(yīng)進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。
(2)為便于現(xiàn)場維護(hù)與操作,閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動閥,閥組安裝方案。
(3)閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過-25~55℃的場合使用。
氮氣是難液化的氣體。氮氣在極低溫下會液化成無色液體,進(jìn)一步降低溫度時,更會形成白色晶狀固體。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。一種超純水氮封裝置,包括氮氣供應(yīng)端、氮封水箱、純水供應(yīng)端,其特點在于;所述氮氣供應(yīng)端通過空氣減壓閥、電磁閥,將氮氣從氮封水箱的輸入口輸送到氮封水箱中;所述氮封水箱還設(shè)有氮氣輸出口、純水輸出口;所述氮氣輸出口、純水供應(yīng)端均與水封桶連接;所述氮封水箱氮氣壓力過高時,氮氣輸出口用來將多余氮氣通過水封桶排出;所述純水輸出口通過壓力泵驅(qū)動,將純水輸送到用水端;所述經(jīng)用水端后的純水通過回水端、輸入口將回水送到氮封水箱中;所述純水供應(yīng)端也通過輸入口將純水輸送到氮封水箱中。這種超純水氮封裝置雖然具有節(jié)能、操作方便的有點,但是超純水在氮封是還是存在被污染和耗氣量多的現(xiàn)象。
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