離子清洗機應用于微電子元器件產(chǎn)業(yè)

微電子元器件產(chǎn)業(yè)采用等離子清洗機的等離子刻蝕技術。等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、各向異性和各向同性失效分析應用、材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫(yī)學應用、聚合反應、混合物清洗、預結合清洗。

等離子處理機的技術優(yōu)勢：

等離子清洗機作用時間短（幾秒到幾十秒），溫度低，效率高；

等離子清洗機對所處理的材料無嚴格要求，具有普遍適應性；

等離子清洗機處理過程中不產(chǎn)生污染，無需進行廢液，廢氣的處理，節(jié)省能源，降低成本；幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理

等離子清洗機工藝簡單，操作方便。大幅提高表面的潤濕性能，形成活性的表面

清洗: 去除灰塵和油污，精細清洗和消除靜電