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等離子清洗機在半導(dǎo)體上的清洗應(yīng)用

時間:2021/2/27閱讀:440
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等離子清洗機在半導(dǎo)體上的運用,在IC芯片制造領(lǐng)域中,等離子體處理設(shè)備已是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是低溫等離子體表面處理設(shè)備所能達(dá)到的:在晶元表面去除氧化膜、有機物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。

等離子清洗機目前廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)、手機制造業(yè)、汽車制造業(yè)、紡織行業(yè)、生物醫(yī)藥、新能源行業(yè)及航天航空領(lǐng)域等方面。如電子產(chǎn)品中,LCD/OLED屏的涂覆處理、PC塑膠框粘結(jié)前處理;機殼及按鍵鈕等結(jié)構(gòu)件的表面噴油絲??;PCB表面的除膠除污清潔、鏡片膠水粘貼前的處理;電線、電纜噴碼前的處理;汽車工業(yè)車燈罩、剎車片、車門密封膠條的粘貼前的處理;機械行業(yè)金屬零部件的細(xì)微無害清潔處理;鏡片鍍涂前的處理;各種工業(yè)材料之間接合密封前的處理;三維物體表面的改性處理等等。

 等離子清洗機也叫等離子表面處理儀,等離子處理機,plasma cleaner,電漿機,等離子是物質(zhì)的第四態(tài),由離子,電子,原子,活性基團(tuán),激發(fā)態(tài),光子等沖擊清洗物體的表面,從而達(dá)到有效去除物體表面污漬的目的,實現(xiàn)表面活化,改良。

等離子清洗機現(xiàn)廣泛應(yīng)用于實驗,科研,醫(yī)學(xué),LCD,LED,鍵合,鍍膜,印刷,焊接前等生產(chǎn)領(lǐng)域。

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