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初級(jí)會(huì)員 | 第6年

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Wafer封裝等離子清洗機(jī)光刻膠去除

時(shí)間:2021/10/16閱讀:525
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Wafer封裝等離子清洗機(jī)可滿足大多數(shù)應(yīng)用需求,適合大批量生產(chǎn),也能滿足實(shí)驗(yàn)室要求。等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物,而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

等離子清洗機(jī)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用:等離子刻蝕,等離子沉積,原子層沉積廣泛用于光電器件制造,包括VCSEL,激光二極管,微透鏡,波導(dǎo)和單片微波集成電路(MMIC)



Wafer封裝等離子清洗機(jī)是一款針對(duì)從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域*的等離子清洗工藝。適用于wafer清洗及芯片封裝批理生產(chǎn)的多功能設(shè)備,滿足客戶多方位需求。

? 基板表面清洗

? 晶圓表面污染物去除
? BGA植球前清洗
? 改善金球焊接
? 改善壓膜分層

? 改善倒裝焊底部填充

? 掩膜去除

? 環(huán)氧樹(shù)脂去除(包含SU-8)

? 改善塑封/封膠

等離子清洗機(jī)廣泛用于:1.等離子表面活化/清洗; 2.等離子處理后粘合; 3. 等離子蝕刻/活化; 4. 等離子去膠; 5. 等離子涂鍍(親水,疏水); 6. 增強(qiáng)邦定性; 7.等離子涂覆; 8.等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)等離子清洗機(jī)的處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。等離子清洗機(jī),英文叫(Plasma Cleaner)又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面清洗機(jī)、等離子體清洗機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。等離子清洗機(jī)是干法清洗中的一種形式






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