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等離子表面活化清洗機(jī)plasma材料表面改性,提高親水性設(shè)備,等離子清洗機(jī)的原理:對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,達(dá)到對(duì)材料表面清洗、蝕刻、活化等效果。
等離子清洗機(jī)用于產(chǎn)品表面處理,提高表面張力,使膠水類,油墨類等液體附著力更強(qiáng)更耐久,對(duì)表面無(wú)機(jī)污染物進(jìn)行清洗
等離子清洗機(jī)能在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。等離子清洗機(jī)器的輝光放電加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
等離子清洗機(jī)器用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導(dǎo)體封裝等批量工件表面清洗、活化、刻蝕、改性實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻、灰化等目的。
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