晶圓片等離子清洗機(jī)介紹

等離子清洗機(jī)的作用1.表面清潔2.表面活化3.鍵合4.去膠5.金屬還原6.簡(jiǎn)單刻蝕7.去除表面有機(jī)物8.疏水實(shí)驗(yàn)9.鍍膜前處理等

等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,可去除金屬表面的油脂、油污等有機(jī)物

等離子清洗機(jī)工藝簡(jiǎn)單，操作方便，清洗過程不需要清洗液的參與，綠色環(huán)保，清洗過程中不會(huì)產(chǎn)生廢液和廢水，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，晶圓等離子清洗機(jī)常用于晶圓表面處理上的微粒，去除光刻膠和其他有機(jī)物、活化及粗化晶圓表面、提高晶圓表面浸潤(rùn)性。

等離子清洗機(jī)不但可以清洗晶圓表面，還可以提高晶圓表面活性，提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，親水性，等離子清洗機(jī)能夠解決表面清洗難題的同時(shí)提供改性活化作用，方便后續(xù)黏晶、封膠、點(diǎn)膠等等工藝

通過激光工藝打穿的小孔，溶劑難以清洗，而等離子體清洗機(jī)可以輕松進(jìn)入而且附著力的提高可以讓粘接更加牢固，減少分層，杜絕氣泡.

晶圓片等離子清洗機(jī)可用于成批剝離，材料包括光致抗蝕劑，氧化物，氨化物蝕刻，電介質(zhì)。硅片去除污染物和氧化物，提高粘接率和可靠性等等。