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微波離子清洗機(jī)器設(shè)備是利用高頻電磁波和電場(chǎng)原理,通過(guò)高頻電場(chǎng)使液體分子發(fā)生高速振動(dòng),形成微小的離子化現(xiàn)象,從而達(dá)到清洗的目的的表面處理設(shè)備。等離子清洗機(jī)器設(shè)備是利用微波能量激發(fā)等離子體,這些等離子體可以有效地去除物體表面的污垢、油脂和雜質(zhì)。
半導(dǎo)體微波等離子去膠機(jī)器清洗晶圓、芯片、LED、銅支架等等半導(dǎo)體器件,有效地去除表面的污垢和有機(jī)物,同時(shí)也能增強(qiáng)表面的附著力和表面能,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、微電子等領(lǐng)域
等離子清洗機(jī)器是干式精密清洗技術(shù),能夠?qū)ξ⒖?、狹縫等細(xì)小的空間進(jìn)行處理,解決這類部位的表面處理難題。
等離子清洗機(jī)器設(shè)備在半導(dǎo)體、電子材料干式清洗中的應(yīng)用如硅膠片的光刻膠剝離、除去有機(jī)膜、界面活性化、微細(xì)研磨、除去碳化膜等領(lǐng)域。
等離子清洗去膠機(jī)是無(wú)任何環(huán)境污染的新型清洗方式,清洗后無(wú)廢液,特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型均可處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物及粉體或時(shí)顆粒狀材料的等離子表面改性處理,包括:等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、聚合、接枝、污染物去除、表面化學(xué)改性、聚合物植、表面涂覆等。等離子清洗機(jī)為所處理的材料表面帶來(lái)潔凈、提高濕潤(rùn)性轉(zhuǎn)變,表面性質(zhì)改變,提高結(jié)合力等處理效果。
半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)器清除微粒污染 氧化層 有機(jī)物 避免虛焊
等離子清洗去膠機(jī)器設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)能有效去除表面污染物和顆粒,有利于提高導(dǎo)線鍵的強(qiáng)度,減少芯片分層的發(fā)生,提高芯片本身的質(zhì)量和使用壽命,提高包裝產(chǎn)品的可靠性
等離子清洗機(jī)器用于膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜等等場(chǎng)合,通過(guò)等離子體作用于產(chǎn)品表面,去除產(chǎn)品表面的有機(jī)污染物,提高產(chǎn)品表面活性,以及激活表面性能,能明顯改善產(chǎn)品后續(xù)工藝的膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜的附著力和良品率。
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