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等離子去膠機(jī)能材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原等等
晶圓、硅片、芯片、半導(dǎo)體材料等離子清洗機(jī)高能量可以分解材料表面的化學(xué)物質(zhì)或有機(jī)污染物,有效去除附著的雜質(zhì),從而使材料表面達(dá)到后續(xù)涂覆過(guò)程所需的條件。
離子清洗機(jī)適用于各種材料的表面改性∶表面清洗、表面活化、表面蝕刻、表面接枝、表面沉積、表面聚合,常見(jiàn)的處理方式有如下:
1、等離子清洗機(jī)能激活材料表面,增強(qiáng)表面附著力:生物材料的表面修飾、印刷涂料或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理;
2、表面蝕刻:硅的微細(xì)加工、玻璃等太陽(yáng)能領(lǐng)域的表面蝕刻處理、經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后的材料微觀比表面積增加并具良好的的親水性
3、等離子清洗機(jī)的表面接枝聚合作用:
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí),采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為:首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán),利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合,后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán),以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
4、表面沉積:疏水或親水層等離子體聚合沉積;
等離子體清洗機(jī)在預(yù)清洗、表面結(jié)構(gòu)化和活化等應(yīng)用具有諸多優(yōu)勢(shì)。等離子清洗機(jī)活化改性,提高表面附著力
等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)去膠設(shè)備用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。等離子清洗機(jī)改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
等離子清洗機(jī)表面處理設(shè)備提升產(chǎn)品性能,附著力,親水性,延展性
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