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等離子清洗機對產(chǎn)品表面進行處理帶來表面清潔、改性的效果,提高產(chǎn)品的附著力、粘結(jié)力、浸潤性等特性。
1、等離子清洗機提高粘接能力,等離子處理設(shè)備可在材料表面增添化學功能鍵實現(xiàn)表面活化,提高粘接性能
2、等離子清洗機提高浸潤性,等離子體在材料表面進行化學反應,提高表面能
3、等離子清洗機提高材料表面潔凈度,提高粘接、涂漆、印刷、著色等工藝前的表面附著力
4、使用等離子清洗機針對薄膜材料活化處理,可以解決覆膜開膠問題
5、等離子清洗機提高表面阻隔力、提高表面防腐抗氧化能力,改變光學透反射性能
等離子清洗機在去除光刻膠方面的具體使用:
等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點、消除靜電、介電質(zhì)刻蝕、有機污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機不僅能去除光刻膠等有機物,還能活化加粗晶圓表面,提高晶圓表面的浸潤性,使晶圓表面更加具有粘接力。
晶圓光刻蝕膠等離子清洗機與傳統(tǒng)設(shè)備相比較,有很多優(yōu)勢,設(shè)備成本不高,加上清洗過程氣固相干式反應,不消耗水資源,不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑,這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝。等離子清洗機刻蝕設(shè)備解決了濕法去除晶圓表面光刻膠反應不準確、清洗不干凈、易引入雜質(zhì)等缺點。不需要有機溶劑,對環(huán)境也沒有污染,屬于低成本的綠色清洗方式
作為干法清洗等離子清洗機可控性強,一致性好,不僅去除光刻膠有機物,而且還活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤性
晶圓清潔-等離子清洗機用于在晶圓凸點工藝前去除污染,還可以去除有機污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化
本公司不僅提供標準的等離子清洗機,且可根據(jù)用戶的需求進行不同的定制設(shè)計從而滿足客戶特定的生產(chǎn)環(huán)境和處理工藝需求。
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