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等離子清洗機增強材料表面活性、親水性,去除表面有機物,廣泛用于粘接、印刷、接枝、鍍膜等工藝前處理
微波等離子清洗機作為綠色無污染的高精密度干法清洗方式,能有效的去除表面污染物,避免靜電損傷,防止包封分層,提高焊線質量,增加鍵合強度
封裝行業(yè)等離子清洗機是應用在半導體封裝行業(yè)的一款設備,能夠對封裝材料進行表面清洗、改性,清除氧化物、碳化物、有機污染物等等,同時可以處理微孔等細小的部位,讓封裝更好的進行,保障產(chǎn)品的質量以及性能。
等離子清洗機顯著提高材料表面微觀層面的活性,提高涂層效果。
等離子清洗機去除封裝表面的污垢和雜質,提供潔凈的封裝表面;
微波等離子清洗機廣泛應用于:1.等離子表面活化/清洗; 2.等離子處理后粘合; 3. 等離子蝕刻/活化;4. 等離子去膠; 5. 等離子涂鍍(親水,疏水); 6. 增強邦定性;7.等離子涂覆; 8.等離子灰化和表面改性等場合。
半導體行業(yè)微波等離子清洗機應用:
灌裝-提高灌注物的粘合性
bond pad清潔-通過接合焊盤(bond pad)清潔改善絲焊
(1) 在SIP等離子工程中,為了除去芯片粘結后的污染成分,每次都要對芯片粘結部進行等離子清洗。
(2)在晶圓上進行凸點印刷之前經(jīng)等離子清洗機處理后可改善無鉛和無助焊劑焊料的拉拔性,還能改善再流焊時焊料的蠕變性。
(3)用等離子清洗機可以改善晶圓的內面污染芯粘結特性。
(4)在裸晶圓上進行的粘結與灌封樹脂工程中,均使用等離子清洗機。
(5)用等離子清洗作為在銅配線電路中的鍵合的前處理。銅配線的鍵合時,功率不能過高,用等離子清洗機可以保證在低功率其鍵合強度。
(6)作為基底的鍍前處理,經(jīng)等離子體處理而表面呈凸凹化,從而改善涂鍍性。
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