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晶圓等離子清洗機(等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕/晶圓凸點/有機污染去除/晶圓減?。?span style="font-size: 18px; font-family: 宋體, SimSun; color: rgb(102, 102, 102);">廣泛應用于等離子清洗,等離子表面活化,表面改性,等離子刻蝕等
晶圓級封裝前處理的等離子清洗機晶圓等離子清洗機,灰化去光刻膠
等離子清洗機對晶圓級封裝前處理的目的是去除表面的無機物,還原氧化層,增加銅表面的粗糙度,提高產品的可靠性。
等離子清洗機用于晶圓級封裝前表面預處理、晶圓級鍵合前表面活化、光刻膠涂覆前表面活化、晶圓表面較小particle去除、表面有機殘留去除等。
用等離子清洗機處理清洗機產生的輝光等離子體,可以有效地去除被處理材料表面的原始污染物和雜質,產生蝕刻作用,使樣品表面粗糙,并產生許多小凹坑,增加了接觸面積,提高了表面的潤濕性(俗話說,增強了表面的附著力,增強了親水性)。等離子清洗機解決粘接、印刷、噴涂、靜電去除等技術難題,實現現代制造技術追求的高品質、高可靠性、效率高、低成本、生態(tài)環(huán)境保護的目標。
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