紅外煙氣分析儀消除水分干擾誤差的方法通常兩種：
 

　　1.采用脫水裝置的方法有采用干燥劑如無水高氯酸鎂，或者采用NAFION膜式干燥管。其主要問題在于需要經常更換，人為增加了運行維護成本。
 

　　儀器生產廠家也有可能在檢定時使用脫水裝置，但是在運行時為減少運行費用不采用該裝置，造成實際運行中的性能改變，導致CEMS監(jiān)測數據不確定度增加。
 

　　2.采用水分傳感器軟件補償的方法一般只修正零點的水分干擾，且低端的分辨率較低。對于同時含水和含SO2,NO的氣體的修正精度很差。
 

　　此外對于NO分析儀，由于在相同的氣室長度下，NO的分辨率低于H2O的分辨率，采用水分傳感器修正的方法對NO會造成很大的誤差。
 

　　那么如何真正有效降低水分對紅外煙氣分析儀測量的影響呢？紅外煙氣分析儀在傳統(tǒng)微流紅外傳感器的基礎上，增加了調水機構。它是通過將不同溫度下的飽和空氣依次通入紅外傳感器，通過調節(jié)調水機構，使得含有非冷凝水的氣體與N2的信號一致。
 

　　同時通過硬件調節(jié)及線性修正，來消除H2O(氣)對SO2、NOx的干擾。進一步實驗結果還表明，通過該方法調節(jié)后的傳感器可以滿足各種水分含量條件下的水分干擾消除，干擾的程度可控制在5ppm以內。