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當前位置：> 供求商機> 重慶光電COIC-重光金相MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡
儀器適用范圍： 伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，我國半導體圓晶生產已從較小的尺寸發(fā)展到現在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發(fā)的新產品。MA3000配備反射照明光學系統，反射式暗場和偏光系統，使它可用在相同尺寸的半導體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。 儀器特性：
高質量的光學系統，確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質量。 無限遠校正像差長距平場消色差物鏡 MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡 在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉換 MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動拉桿，即可明場暗場轉換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉換，操作十分方便。 采用完善的柯拉照明系統 MA3000采用完善的柯拉照明系統，在整個視場內照明均勻。 |
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