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SMSQ2Micro 減壓閥用于狹小空間需要精確壓力控制的UHP超高純使用點應(yīng)用。提供優(yōu)xiu的可靠性和泄露完整性，使其成為關(guān)鍵的半導(dǎo)體操作的理想選擇。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
PARKER派克膜片減壓閥產(chǎn)品描述：
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設(shè)計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計特點相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250. SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
PARKER派克膜片減壓閥特點和優(yōu)勢:
- 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8
和1-1/2
閥體尺寸
• 極低粒子數(shù)
• 束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性
• SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
• 出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
• 工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)
PARKER派克膜片減壓閥應(yīng)用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)
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