CS-5000CNC CS-H5000CNC 525系列CNC表面粗糙度和輪廓測(cè)量系統(tǒng)福建三豐代理技術(shù)參數(shù) :

X1 軸
測(cè)量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
檢測(cè)方法 : 激光全息光柵尺
測(cè)量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形狀/輪廓）
測(cè)量方向 : 向前／向后
直線度 : （0.1+0.0015L）µm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針（0.2+0.0015L）µm使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針
直線度 : （0.05+0.0003L）µm 使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針（0.1+0.0015L）µm使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針（CS-H5000CNC）
指示精度 （20oC）: ±（0.3+0.002L）µm
指示精度 （20oC）: ±（0.16+0.001L）µm
L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 （mm）
 CS-5000CNC CS-H5000CNC 525系列CNC表面粗糙度和輪廓測(cè)量系統(tǒng)Z1 軸
測(cè)量范圍 : 12mm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）
24mm （使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針）
分辨率 : 0.004µm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）
0.008µm （使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針）
0.001µm （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）（CS-H500CNC）
0.002µm （使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針）（CS-H500CNC）
測(cè)針上／下運(yùn)作 : 弧形運(yùn)動(dòng)
檢測(cè)方法 : 激光全息光柵尺
指示精度 （20oC）: ±（0.3+I0.02HI）µm
指示精度 （20oC）: ±（0.07+I0.02HI）µm
H 為測(cè)量高度 （mm）
測(cè)力 : 4mN （使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針）
0.75mN （使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針）
跟蹤角度 : 向上 60o, 向下 60o
（取決于表面粗糙度）
測(cè)針針尖 : 參見 L-22 頁(yè)
測(cè)針方向 : 向下
Z2 軸 （立柱）
測(cè)量范圍 : 300mm 或 500mm
*CS-H5000CNC : 僅 300mm
分辨率 : 0.05µm
檢測(cè)方法 : 反射型線性編碼器
0 - 50mm/s （操縱桿控制模式）
基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm
基座材料 : 花崗巖
超級(jí)輪廓測(cè)量裝置Y 軸 *
測(cè)量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
0~50mm/s （操縱桿控制模式）
直線度 : 0.5µm/200mm
指示精度 （20oC）: ±（2+2L/200）µm
L 任意兩點(diǎn)間的長(zhǎng)度 （mm）
尺寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm
（800 x 620 x 1200mm: 高立柱型）
重量 : 240kg （250kg: 高立柱型）