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Diener 等離子表面處理儀 Zepto W6
  • Diener 等離子表面處理儀 Zepto W6
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貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2024-08-07 17:28:26

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Diener 等離子表面處理儀 Zepto W6特點(diǎn):
· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 6" Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡(jiǎn)單易使用

Diener 等離子表面處理儀 Zepto W6

特點(diǎn):

· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 6" Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡(jiǎn)單易使用



Diener 等離子表面處理儀 Zepto W6技術(shù)規(guī)格:

型號(hào)

ZEPTO W6

ZEPTO W6 PCCE

控制系統(tǒng)

手動(dòng)控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路氣體

工藝氣體

O2,Ar,N2,CO2,H2,Air

單體導(dǎo)入

H2O等單體(選配)

流量計(jì)

針閥流量計(jì)

MFC流量計(jì)

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃腔體,蓋子門(mén)帶觀察窗(石英,鉸鏈門(mén)選配)

內(nèi)尺寸(Dia.×D)mm

160mm×180mm

容積

4L

電極

360度外置環(huán)繞電極

發(fā)生器


40KHz     0~100 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空壓力計(jì)

指針式壓力計(jì)(選購(gòu))

皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)

計(jì)時(shí)器

旋鈕式(選購(gòu))

數(shù)字式

托盤(pán)

高硼硅玻璃(石英選配)

外形尺寸(WXDxHmm

269x324x176(40kHz)

425x450x185(13.56MHz)

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度4m3/H

上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷(xiāo)國(guó)內(nèi)外儀器的專(zhuān)業(yè)公司。秉承“銷(xiāo)售*儀器、提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)"的宗旨,在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開(kāi)拓了廣泛的市場(chǎng),并贏得了廣大用戶的支持和信賴(lài)。爾迪在今后的發(fā)展中,將貫徹誠(chéng)信、服務(wù)、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新的經(jīng)營(yíng)理念,一如既往地把國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國(guó)內(nèi)的用戶。孜孜追求,不懈努力,不斷提高服務(wù)水平,為提升用戶的檢測(cè)水平和科研水平貢獻(xiàn)各自的綿薄之力,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協(xié)作中共同進(jìn)步。


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