技術(shù)規(guī)格（Specifications）

（一）半導體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測量儀主機：

（1）主機使用高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設計理念，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器運行；

（2）成像部分使用高性能日本*工業(yè)機芯及無失真遠心鏡頭確保成像效果。

（3）工業(yè)級可調(diào)LED單波長冷光源系統(tǒng)，成像更清晰

（4）自動位移平臺，實現(xiàn)Y、Z自動定位測量，定點地位更精確，測量效率更高

規(guī)格：

1. 主機外形尺寸：1200mm（長）*600mm(寬)* 670mm(高) 
2. 主機凈重：55KG
3. 工作臺面尺寸：420mm*420mm
4. 工作臺移動：

 前后移動 自動，行程160mm，精度0.01mm
        上下移動 手動，行程20mm，精度0.01mm

1. 進樣器移動：自動上下60mm（自動）;  左右30mm
2. 工業(yè)鏡頭移動：前后30mm（微調(diào)3mm）
3. 工業(yè)鏡頭：0.7X *-4.5X高清遠心連續(xù)變倍變焦顯微鏡
4. CCD：SONY*高速工業(yè)級芯片；60幀/S
5. 鏡頭角度可調(diào)試：仰視、平視、俯視多視角觀察
6. 光源：LED可調(diào)節(jié)藍色基調(diào)工業(yè)級冷光源；使用壽命達貳萬伍仟小時以上
7. 電源及功率：220V / 60HZ

（二）半導體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測量儀分析軟件：

（1）*進的接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法（一鍵自動擬合，不存在人工誤差）包括：

圓法擬合（Circle method）（適用于低角度接觸角測量）

橢圓/斜橢圓擬合法（Ellipse/Oblique ellipse）（適用于高角度接觸角擬合）

LY（應用于120°以上高角度接觸角測量）

微分橢圓法/微分圓法（Differential circle / Differential ellipse）（應用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合）

1. 動態(tài)接觸角擬合包括：

潤濕性能測試（Wettability）（應用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試，批量處理）

視頻擬合（Video analysis）（應用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試，視頻動態(tài)處理）

1. 動態(tài)表面/界面張力測量（Measurement of dynamic surface / interfacial tension）（測量液體整個過程的張力變化趨勢，更準確的判定其真實的表面/界面張力）
2. 表面能量計算（Surface energy）（使用主流的多種表面能計算方式測量對固體表面能量進行分析）
3. 粘附功（Adhesion work）
4. 數(shù)據(jù)報告（Data report）（支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報告，自動生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖）

規(guī)格：

1. 接觸角測量范圍：0-180°
2. 接觸角測量精度：±0.1°
3. 表界面張力測量范圍：0-2000mN/m；測量精度：0.01 mN/m
4. 高精度自動滴液系統(tǒng)：軟件高精度滴液系統(tǒng)；滴液精度：0.0 1μl
5. 一鍵式多點測量（可多次循環(huán)）：自動進樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個點位
6. 可針對不同樣品設置測量方案并可保存，方便下次再次測量同一類樣品時直接調(diào)取測量

四·產(chǎn)品特點（Product features）

1. 專業(yè)級的高精度注射系統(tǒng)，全電腦控制，液滴控制精度可達0.01μl
2. Y軸自動位移，平臺自動旋轉(zhuǎn)，可一次測量多個已設置點并給出對應測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)全自動化測量
3. 工業(yè)級可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)（壽命25000H以上），更清晰的成像，同時避免額外熱度所導致的小液滴揮發(fā)
4. 采用高性能日本*工業(yè)機芯，無失真遠心鏡頭，確保成像效果。
5. 采用USB2.0標準接口，數(shù)據(jù)傳輸速度快，兼容性高
6. 高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu)，模塊化設計理念，可配置各種常用測量附件
7. 自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器運行
8. 多種輔助模塊選取，滿足更多的外部測試條件
9. 光學系統(tǒng)頂式法，適合超低角度測量和疏水材料測量
10. 多種接觸角分析方法，更適合多種材料接觸角測量
11. 采用計算方法，能夠自動識別基準線及輪廓線，無人為誤差
12. 高速全自動操作測量，且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果，有圖有真相，有擬合痕跡，測流量結(jié)果是否準確一目了然
13. 表面接觸角分析模塊，更簡捷的操作，更準確的結(jié)果
14. 視頻快速測試數(shù)據(jù)，可連續(xù)性進測試接觸角形態(tài)變化
15. 一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭； 【測試】--精準的控制滴液-自動接液-高精度的進行全自動測量-測量完畢后自動更換測量位置直至整個原設置好的測量方案運行結(jié)束

儀器應用領域

• TFT-LCD面板行業(yè)：玻璃面板潔凈度與鍍膜質(zhì)量測量；TFT打印電路、彩色濾    光片、 ITO導體膠卷等前涂層質(zhì)量測量

• 印刷、塑膠行業(yè)：表面清潔與附著質(zhì)量測量；油墨附著度測量；膠水膠體性質(zhì)相容性測量；染料的緊扣度

• 半導體產(chǎn)業(yè)：晶圓的潔凈度測量；HMDS的處理控制；CMP的研究測量、光阻與顯影劑的研究

• 化學材料研究：防水與親水性能材料研究探討；表面活性與清潔劑的張力、濕性；黏性增強與附著表面能測量

• IC封裝：基質(zhì)表面潔凈度；原子合成氧化識別；BGA焊接表面；環(huán)氧化物的附著度測量

光學接觸角測量儀:是一種簡單、快速、靈敏的方法測量固體表面的潤濕性。且可間接測量固體表面能與液體表面張力。