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體積表面電阻率測試儀——操作流程以及關(guān)鍵原理分析

閱讀:241發(fā)布時間:2025-3-24

體積表面電阻率測試儀核心操作流程與關(guān)鍵原理

1. 設(shè)備初始化與調(diào)零

電源與預(yù)熱

確保電源為220VAC/50Hz,接地可靠(防止漏電干擾)。

開機(jī)后預(yù)熱10分鐘,消除電路溫漂,提高穩(wěn)定性(晶振電路需熱平衡)。

調(diào)零校準(zhǔn)

原理:消除設(shè)備本底電流(如PCB漏電流、放大器偏置電流)。

操作:斷開所有測試線(Rx開路),電流量程置10?檔,調(diào)節(jié)調(diào)零旋鈕使顯示為“0000"。

風(fēng)險:帶負(fù)載調(diào)零會導(dǎo)致測量誤差(例:若未調(diào)零,1nA本底電流將導(dǎo)致在10?Ω量程時誤差達(dá)100%)。

2. 樣品準(zhǔn)備與電極配置

樣品要求

尺寸:需覆蓋整個“不保護(hù)電極"(防止邊緣漏電,常規(guī)尺寸Φ50±5mm)。

厚度測量:需用千分尺精確至±0.01mm(厚度輸入錯誤10% → 電阻率誤差10%)。

三電極系統(tǒng)原理

被保護(hù)電極(藍(lán)色):測量主電流通路,接高阻計輸入端。

不保護(hù)電極(中間黑):施加電壓,形成均勻電場。

保護(hù)電極(左側(cè)黑):吸附邊緣雜散電流(保護(hù)環(huán)設(shè)計提升精度>10%)。 



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