在線過程質(zhì)譜儀是一種專門設(shè)計用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的實時氣體分析設(shè)備。這類儀器能夠在生產(chǎn)過程中直接監(jiān)測氣體成分的變化，為過程控制提供關(guān)鍵信息。

在線過程質(zhì)譜儀依據(jù)的是掃描磁扇質(zhì)譜技術(shù)。利用這種技術(shù)，氣體可以通過一個多流路進樣閥源源不斷的從取樣系統(tǒng)到達離子源，在這里，氣體分子被離子化和碎片化。離子被高能電場加速后進入電磁質(zhì)量分析器，目標(biāo)離子進入檢測器。分子碎片能夠產(chǎn)生重復(fù)性較好的“指紋”譜圖，這可以讓具有相似分子量的氣體被精確測量而不受干擾。內(nèi)置控制器使用一系列的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，將氣體濃度數(shù)據(jù)和其他諸如熱值和碳平衡的計算數(shù)據(jù)直接傳送到過程控制系統(tǒng)。耐用性和容錯性設(shè)計在顯著降低維護要求的同時，可以保證 99.7%以上的投用率。