高純器分析儀主要基于光電子發(fā)射原理，利用高分辨率電子能譜技術(shù)來研究材料表面的電子狀態(tài)。當(dāng)一個光子擊中樣品時，會產(chǎn)生光電子釋放出來，這些光電子的能量和數(shù)量可以表征樣品表面的電子結(jié)構(gòu)。此外，還采用了陽離子大氣壓離子化質(zhì)譜儀(API-MS)技術(shù)，該技術(shù)通過電暈放電產(chǎn)生電子流，電子與離子源中的樣氣發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致樣氣氣體分子的電離。由于污染物分子在樣氣中濃度很低，它們需要很少的能量就可以產(chǎn)生電離，因此與樣氣離子發(fā)生反應(yīng)的幾率非常高。這種反應(yīng)發(fā)生時，電荷轉(zhuǎn)移至污染物氣體分子，形成再次電離，導(dǎo)致非常高比例的污染物氣體分子被電離。電離的污染物經(jīng)過一系列的減壓透鏡后，進入三重四級桿質(zhì)譜儀進行準(zhǔn)確測量。
 

　　高純器分析儀特點：
 

　　高分辨率和靈敏度：具有非常高的分辨率和靈敏度，能夠準(zhǔn)確檢測到不同元素的電子能級和微小濃度的污染物。其能量分辨率通常達到10 meV或以下，空間分辨率可達到亞微米級別，測量下限可達到ppt級別。
 

　　快速響應(yīng)：高純器分析儀具有快速在線測量的能力，典型測量時間小于5秒，能夠立即響應(yīng)供氣的波動狀況，滿足實時監(jiān)測的需求。
 

　　多分析器集成：集成了多分析器分析方案，提供了污染物的快速檢測能力，同時支持多流路分析，提高了分析效率和準(zhǔn)確性。
 

　　備份能力：在單個大氣壓離子化分析器(API)在維護時，允許每一臺大氣壓離子化質(zhì)譜儀(APIMS)支持多流路分析，確保了分析的連續(xù)性和可靠性。
 

　　工業(yè)通訊協(xié)議支持：支持多種標(biāo)準(zhǔn)化工業(yè)通訊協(xié)議(如OPC、DDE、Modbus、Siemens 3964R、PROFIBUS等)，方便與工廠控制和數(shù)據(jù)集中系統(tǒng)進行集成和通信。
 

　　安全性高：部分高純器分析儀配置有氫安全系統(tǒng)，能夠在氫氣泄漏時安全關(guān)閉質(zhì)譜儀，確保操作安全。
 

　　智能化和自動化：高純器分析儀通常采用智能化的控制系統(tǒng)和自動化的操作流程，能夠自動校準(zhǔn)、自動切換流路、自動采集和分析數(shù)據(jù)，降低了操作難度和人工誤差。